真空镀膜简介
一种由物理方法产生薄膜材料的技术。在真空室内材料的原子从加热源离析出来打到被镀物体的表面上。此项技术最先用于生产光学镜片,如航海望远镜镜片等。后延伸到其他功能薄膜,唱片镀铝、装饰镀膜和材料表面改性等。如手表外壳镀仿金色,机械刀具镀膜,改变加工红硬性。
真空镀膜特点
采用PVD镀膜技术镀出的膜层,具有高硬度、高耐磨性(低摩擦系数)、很好的耐腐蚀性和化学稳定性等特点,膜层的寿命更长;同时膜层能够大幅度提高工件的外观装饰性能。
真空镀膜原理
PVD镀膜(离子镀膜)技术,其具体原理是在真空条件下,采用低电压、大电流的电弧放电技术,利用气体放电使靶材蒸发并使被蒸发物质与气体都发生电离,利用电场的加速作用,使被蒸发物质及其反应产物沉积在工件上。
目前常用的PVD有三种:真空蒸镀、溅射镀膜、和离子镀。它们的工作原理如下:
1.真镀空膜是在1.33x10^-3至1.33x10^-4Pa的压力下,用电子束等热源加热材料使之蒸发,蒸发的原子或分子直接在工件表面形成沉积层。
2.溅射镀膜:是不采用蒸发技术的物理气相沉积方法。施镀时,将工作室抽成真空,冲入氩气做为工作气体,并保持其压力为0.13至1.33Pa。
3.离子镀:是在真空条件下,利用气体放电使气体或蒸发物质离子化,在气体离子或蒸发物质离子轰击作用下,吧蒸发物质或其他反应物蒸镀在工件上。