东京精密表面粗糙度测量机SURFCOM NEX030/040
轮廓测量尺寸、形状分析
具有超高便利性的通用轮廓测量传感器
轮廓测量 通用传感器 NEX 030 E-DT-CH18B 同等级最高精度的通用传感器 搭载了高精度光栅尺的通用型传感器。 Z 轴测量范围60mm，新开发的快速更换测臂机构，使得测臂更换简单方便。可选配上下同时测量
轮廓测量 高精度传感器 NEX
040 E-DT-CH19B 实现测力自动调整机构的高精度传感器
搭载了新型激光衍射光栅尺的高精度传感器，全范围的测量分辨率为0.02μm。Z轴测量
范围为60 mm，在快速更换测臂机构上更添加了测力自动调整机构。可选
配上下同时测量 测量分辨率 0.04 μm （全量程） 指示精度 ±（1.5 +
|2H|/100） μm
轮廓测量 高精度传感器 NEX 040 E-DT-CH19B 实现测力自动调整机构的高精度传感器 搭载了新型激光衍射光栅尺的高精度传感器，全范围的测量分辨率为0.02μm。Z轴测量
范围为60 mm，在快速更换测臂机构上更添加了测力自动调整机构。可选
配上下同时测量 测量分辨率 0.04 μm （全量程） 指示精度 ±（1.5 +
|2H|/100） μm 测量分辨率 0.02 μm （全量程）
指示精度 ±（0.8 + |2H|/100）μm
