FT-NMT04原位纳米力学测试系统是一种多功能原位SEM / FIB纳米压痕仪，能够量化微米和纳米级材料的力学行为。

作为世界上第一个基于MEMS的纳米压痕仪，FT-NMT04基于获得专利的FemtoTools微电子机械系统（MEMS）技术。利用二十多年的技术创新，这种原位纳米压痕具有无与伦比的分辨率，可重复性和动态响应。FT-NMT04 原位纳米压痕仪针对金属，陶瓷，薄膜以及超材料和MEMS等微结构的机械测试进行了优化。此外，通过使用各种附件，FT-NMT04的功能可以扩展到各个研究领域的多样化要求。

  典型应用包括通过微柱的压缩测试或狗骨样本，薄膜或纳米线的拉伸测试来量化塑性变形机制。此外，弯曲期间的连续刚度测量使得能够在微梁的断裂测试期间量化裂缝生长和断裂韧性。由于无与伦比的低噪声基底分别为500 pN和50 pm，FT-NMT04可实现浅纳米压痕，具有前所未有的可重复性。

①纳米压痕，压缩测试，拉伸测试，断裂测试，疲劳测试。

②使用SEM，EBSD或STEM进行定量机械测试和同步成像。

③获得专利的基于MEMS的传感技术可实现0.5 nN至200 mN的最高分辨率和重复力，以及0.05 nm至21 mm的位移。

④能够进行连续刚度测量（CSM）或高达500 Hz的疲劳测量，无需复杂的动态校准。

⑤真正的位移控制测试，可实现快速应力下降的量化（也可以选择基于力反馈的力控制测量）。

⑥3轴,4轴或5轴（x,y,z,旋转,倾斜）,闭环传感器,使用所有轴上的位置编码器进行样品对齐高温测试可达400℃。

⑦能够将样品有序地定向到纳米压头尖端，电子束和EBSD检测器，以评估特定颗粒和位置的硬度（仅适用于5轴配置）。

⑧简单确定压头区域功能和框架顺应性。

⑨强大的数据分析工具，用于评估测量结果并应用拟合或函数来计算材料属性。

⑩SEM样品台安装可以快速安装和移除SEM室内的系统。

⑪紧凑的模块化设计使其几乎可以集成到任何SEM中。

⑫可定制的测量程序和原则。

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