概览 MT-400AH主要用于半导体产品尺寸检测。苏州卡斯图电子有限公司MT-400AH工具金相显微镜 我们采用高亮的LED照明,通过高精密的光栅尺来对产品进行测量,超大的行程能满足12寸晶圆的测量。 MT系列参数 |
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| 带Z轴测量 | 型号 | MT-100AH | MT-200AH | MT-300AH | MT-400AH | 三目镜筒 |
| 三目 | 图像 |
| 正像/反像 | 观察方法 |
| 明场、暗场、偏光、微分干涉观察(可选) | 目镜 |
| 屈光度可调10X(视场数:22mm)、20X(可选) | 物镜 | 明视场 | 长工作距离物镜 | 暗视场 | 所有Plan BD系列镜头(可选) | 调焦系统 | 最大被测物高度 | 150mm | 200mm | 调焦方法 | 粗微调同轴,左右手柄(粗调:40mm/圈、微调:0.02mm/圈) | 照明装置 | 透射照明 | 远心照明、无级亮度可调、5W LED光源 | 反射照明 | 科勒照明、FA辅助对焦、可调视场光阑、可调孔径光阑、无级亮度可调、LED光源/卤素光源可选 | 斜照明 | LED环型光源/光纤冷光源 | 载物台 | 测量范围 | 100*100mm | 150*100mm | 200*150mm | 300*200mm | 金属台尺寸 | 285*250mm | 300*250mm | 400*280mm | 500*350mm | 玻璃尺寸 | 170*145mm | 204*145mm | 245*192mm | 350*250mm | 快速释放装置 | 标准配置 | 数字计数器 | 最小读数 | 可在1/0.5/0.1μm选择 | 功能 | 调零、分中、方向转换、公英制转换、RS232输出 | 测量精度 |
| (3+0.02L)μm L为测量长度 | 功耗 |
| 45W、85~240VAC 50/60HZ | 主机 | 外型尺寸(W*D*H)mm | 445*670*710 | 480*670*710 | 607*793*720 | 720*810*720 | 重量 | 50KG | 55KG | 80KG | 110KG |
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