产品简介：
特徴高精度、高分解能、高速応答であり、小型・反射型の回転レーザスケール。HDD製造装置、精密測定器、非球面加工機などの高分解能角度計測に最適。
- 信号波長:250nm
- 高速応答:1,500mm/s(アナログ接続時)、700mm/s(BD96接続時)
- 160min-1 r =41mmスケール時(BD96接続時)
- 555min-1 r =12mmスケール時(BD96接続時)
- 高分解能:4194304パルス/回転(r=41mmスケール、4000分割)
- 3.09×10-4秒 r=41mmスケール時
- 1.5nrad r=41mmスケール時
- ラインナップ:原点付、原点無し
- 厚み12mmの薄型ヘッド
- 各種分解能、出力形式のインターポレータを用意(BD96)
スペック
検出ヘッド 主な仕様
| 型名 | BH20-RED | BH20-NED |
| スケール全長(直線/回転) | － |
| 精度(20℃にて) | － |
| 格子ピッチ | 1.0μm |
| 信号波長 | 250nm |
| 原点位置 | 1点 | 無 |
| 原点検出方向 | 片方向 | － |
| 光源 | 半導体レーザ 790ｎｍ 最大出力6ｍW |
| 検出方式 | 回折格子走査式 |
| 使用温度範囲 | 10℃～30℃ 結露のないこと |
| 保存温度範囲 | 0℃～50℃ 結露のないこと |
| 最大応答速度(注1) | 700mm/s(BD96接続時) |
フィルムスケール(BE10)主な仕様
- 注1)アナログ出力、ヘッドケーブル長1mの場合です。ケーブル長が最大3mの場合、速度は1mケーブル2/3になります。
- ※スケールとヘッドが組み合わさったセット物でない場合は、信号調整が必要となります。
レーザスケールは半導体レーザを使用しています。レーザ光は人体に有害ですので、検出ヘッド部をのぞき込まないようにしてください。 本製品は改善の為予告なく変更する場合がありますので、最新の仕様書にて機能・性能をご確認ください。ご了承ください。 |
| 検出半径 | 12.032mm | 27.073mm | 36.097mm | 41.721mm |
| 外形 | 内径 | 7.7mm | 19.77mm | 29.00mm | 34mm |
| 外径 | 13.45mm | 28.57mm | 37.60mm | 43.523mm |
| スケール直径 | 20φmm | 59φmm | 77φmm | 87φmm |
| 最大応答速度（注1） | 1,190min-1 | 529min-1 | 396min-1 | 343min-1 |
| 1回転当たり出力パルス数 | 302,400パルス/回転 | 680,400パルス/回転 | 907,200パルス/回転 | 1,048,576パルス/回転 |
