广泛应用于复杂、高速器件的精密电气测量的研发，旨在确保质量及可靠性，并缩减研发时间和器件制造工艺的成本。 该探针台的承片台X/Y/Z三个方向均可在真空环境下调节，其中X方向调节范围：0－30mm；y方向调节范围：0－13mm；z方向调节范围：0－13mm；用户可根据需要自行调节。使用时将需检测的器件固定在加热台上，再微调探针支架X/Y/Z 方向行程，通过显微镜观察，使探针对准检测点后，即可进行检测。
实验腔体 |
腔体材质 | 304不锈钢 |
上盖开启 | 铰链侧开 |
内腔体尺寸 | φ140x180 |
加热台材质 | 304不锈钢 |
观察窗尺寸 | φ75 |
加热台尺寸 | 50x50 |
加热台温度 | 室温-350℃可调 |
加热台温控误差 | ±1℃ |
真空度 | 机械泵≤10Pa 分子泵≤10-3Pa |
真空抽气口 | KF25 |
气体进气口 | 3mm-6mm卡套接头 |
进气阀门 | 高精密针阀 |
抽气阀门 | KF25真空挡板阀 |
压力表 | 机械压力表 -0.1-0.15mpa |
信号电极 | 4个 |
探针数量 | 4个 |
探针材质 | φ1.5钨针 其他材质可选 |
探针移动平台 |
X轴移动行程 | 30mm ±15mm |
X轴控制精度 | ≤0.1MM |
Y轴移动行程 | 13MM ±6.5mm |
Y轴控制精度 | ≤0.05MM |
Z轴移动行程 | 13mm ±6.5mm |
Z轴控制精度 | ≤0.05MM |
信号电极 |
电极芯 | 1芯 |
电极引出接头 | BNC母头 |
电极引出线 | 铜网信号屏蔽线 |
BNC引出接头 | X4 |
额定电流 | ≤5A |
额定电压 | ≤220V |
电极芯直径 | φ1mm |
接触电阻 | ≤5MΩ |
绝缘电阻 | ≥1000 MΩ |
外壳接地 | 是 |
电子显微镜 |
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