SAMSUNG/三星 SFM2紧凑型高速倒装芯片贴片机
产品描述:
www.audi-smt.com/product/samsung-SFM2-high-speec-flip-chip-mounter.html
SFM2紧凑型高速倒装芯片贴片机
实现世界最高生产性
SFM2是独立双悬臂结构,每个悬臂头座的6个高精度Spindles,独立马达,独立控制器,可实现精密压力回馈与识别功能,且经由0.1N级分辨率可实现最大20N的高感应Force控制的倒装芯片贴装机,完全实现14,000UPH的世界最高生产速度,XY悬臂适用了精密线性马达控制系统,从而实现±8μm的贴装精度
实现世界高最14000UPH/高精度
通过每个悬臂6个Spindles及4个Thrret Flip Head 2个Shuttle平台架构,完全6个Spindles同时吸取芯片,因而实现世界最高生产线14,000UPH
XY悬臂中使用了位置误差为±1μm级的精密线性马达控制系统,保证贴装精度±8μm
通过线性马达控制器实现精度压力回馈功能及通过0.1N级分辨率可实现最大20N的高感应Force控制因此对应不同芯片之置放方式要求
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机型SFM2 |
速度14K |
贴装精度±50μm@3σ |
点胶精度宽50~225mm |
长50~225mm(标准),50~322.5mm(选项) |
厚0.2~1.4mm |
Die大小0.5~30mm |
厚min 50μm |
晶圆8“&12” |
Bump间距Min 70μm(50μm @FOV10) |
直径50~100μm(30μm @FOV10) |
FluxFluxing精度±5μm |
基板公差±5μm |
Bond压力20N |
Number of Die Pickup12 Die(6 Spindles x 2 Gantry) |
设备尺寸1,630(L)x2,100(W)mm |
气电功率Max.9.5KVA |
气0.55Mpa |
电AC220~415V,50/60Hz,3Phase(AC 380,415V AVR) |
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