质量流量计,耐高压质量流量计

概述

产品历经市场考验，广泛应用于半导体、真空、太阳能、分析仪器、光电、制气、石化、医疗、食品、航空电力等行业，已经成为支撑各工业领域行业发展的重要设备。

 


流量规格：(5,10,30,50,100,200,300,500)mL/min
          (1,2,3,5,10)  L/min
          (15,20,30) L/min
调节阀类型：电磁调节阀
调节阀静止位置：常闭
准确度：± 1.0% F.S ± 2.0% F.S
线性：±1.0 % F.S，±2.0 % F.S
重复精度：±0.2  %F.S
响应时间：≤8 s（T95）
工作压差范围：(50 ～ 300) kPa；  (10～30)L/min (100～300)kPa
耐压：3 MPa、10 MPa
工作环境温度：5℃ ～ 45℃
材料：不锈钢316L
标准密封材料：Viton﹑EPDM,  或其他
漏率：1×10-8 Pa.m3/s
接头：Ф3mm～Ф10mm, 1/4″Swagelok(或VCR)，
软管接头：Ф4mm～Ф10mm  或其它
输入输出信号：0 V ～ +5.00 V(输入阻抗大于100K, 输出电流不大于3mA)
电源：+15 V   50 mA
      -15V  200 mA
外形尺寸：134×134×38（mm）

重量：1.2kg