对象基板

 尺寸

L100 × W50 ～ L560 × W460mm

 贴装后的元件高度

上面40mm、下面80mm (生产线上使用时为40mm)

 翘曲度

2.0 mm 以下

 重量

2.0kg 以下

X射线检查

TypeHD

TypeHB

 X射探测器

FOS平板式

直接转换式

高速型

耐用型

 分辨率

7～54μm

18～54μm

 最大视野

62 × 78mm

52 × 45mm

 检查速度　2D-X

93.7㎠/sec

24.0㎠/sec

 检查速度　3D-X

15.5㎠/sec

4.0㎠/sec

 方式

采用X射线CT进行三维断层检查

 X射线源

微焦点密封管

 管电压

最大 130KV

 检查区域

3D： L510 × W460 mm、2D： L560 × W460 mm

 (基板中央部)

光学检查

 检查速度

0.4 秒 / 视野

 分辨率

10µm / 19µm

 照明

3层圆顶照明、上层R･G･B･红外线、中层R･G･B、下层R･G･B

 摄像系统

数码彩色相机、远心镜头

 检查区域

L560 × W460 mm

激光检查

 分辨率 / 方式

5µm (高度方向) / 采用通过激光光束进行三角法测量的测距传感器

 检查区域

L510 × W360 mm

 (基板中央部)

X射线泄漏量

0.2 µSv/h 以下

电源规格 /

三相 AC 200/208/220/240/380/400/416V ±10%　50/60 Hz / 0.4MPa以上

外形尺寸 / 重量

L1,710 × D1,883 × H1,705mm（突起部除外）/ 约 2,900kg