型号

MTM-3020MA

工作台

金属台尺寸(mm)

500 x 330

玻璃台尺寸(mm)

350 x 250

X、Y轴运动行程(mm)

300 x 200

手动Z轴行程(mm)

120

自动Z轴行程(mm)

2

外形尺寸(mm)

825 x 660 x 910

仪器重量(kg)

130

X、Y、Z轴分辨力(μm)

0.5

自动Z轴分辨力(μm)

0.1

示值误差(μm)

E1XY=( 2.5+ L/100) μm  (L为测量长度，单位mm)

物镜放大倍数误差

包括畸变在内的放大率误差≦0.08%

落射照明光源

可调高亮度卤素灯

底光照明光源

可调高亮度LED灯源

目视系统

影像系统

物镜放大倍数

5X、10X、20X、50X

5X、10X、20X、50X；10X Mirau物镜

目镜放大倍数

10X双镜筒

1/2”CCD摄像机

视频总倍率

50X ~500X

142.5X ~1425X (19.5”显示器，分辨率1440 x 900)

单层透明膜厚度测量模组

高精度测量模式

快速测量模式

厚度测量范围

100nm ~300nm

300nm ~500nm

500nm ~3μm

3μm ~20μm

分辨力

5nm

5nm

7.5nm

0.1μm