GJJ100G甲烷气体检测传感器为开关型稳压电源模块，具有过热及短路保护功能，可为敏感元件及本机其它单元提供稳定的电源供应,采用保护层覆盖基片的正面，所述保护层覆盖除硅元件以外的基片正面其余部分。GJJ100G甲烷气体检测传感器采用方法制备氧化铪薄膜，或制备氧化铝薄膜，或制备氧化铪氧化铝复合薄膜，或制备氧化硅氧化铪氧化铝复合薄膜，通过第十一步与本步骤或通过第十一步与本步骤中的其中一个步骤形成钝化保护层,制备方法(一首先制备分离的单片高温加热器与分离的单片甲烷气体检测器，所述的单片高温加热器单片甲烷气体检测器采用硅片加工，单片高温加热器与单片甲烷气体检测器制备时可以在同一硅片上加工，或者在不同的硅片上加工;然后将加工好的分离的单片高温加热器与分离的单片甲烷气体检测器采用倒装焊封装制备成整体结构形式的本发明的微型甲烷传感器。
甲烷传感器产品介绍
甲烷传感器满足了我国煤矿监测井下甲烷浓度的需要。它可以连续自动地将井下甲烷浓度转换成标准电信号输送给配接设备，并具有就地显示沼气浓度值，超限声光报警等功能。传感器经国家防爆检验机关进行联机检验后, 可与国内各类型监测系统及断电仪、风电瓦斯闭锁装置配套，适宜在煤矿采掘工作面、机电硐室，回风巷道等地点固定使用。甲烷传感器包括型硅衬底，型硅衬底上设有型硅;以所述型硅衬底上的型硅加工制备硅加热元件;所述硅加热元件包括两个固定端硅加热器两个硅悬臂;所述单个的硅悬臂长度至少;所述单个的娃悬臂的一端与娃加热器相连,另一端与一个固定端相连，为硅加热器提供电连接,其中氧化硅的厚度至少，氧化铪的厚度至少为，氧化铝厚度至少，氮化硅厚度至少，整个钝化保护层的厚度不超过,并且本发明的硅加热元件采用湿法硅刻蚀从正面和背面双向同时刻蚀硅的方法加以释放，能节省约一半的刻蚀时间，提高约倍的刻蚀加工效率
甲烷传感器主要特点
1．采用单片微机和高集成数字化电路，使电路结构简单，性能可靠，便于维修与调试。
2．实现了红外遥控调校零点、标校点、报警点等功能,使调校方便简单。一种使用权利要求所述传感器的甲烷检测应用，使用两个甲烷传感器，其中一个与环境空气接触，另一个进行气密性封装，保持与环境空气为隔绝密封,本发明的甲烷传感器，尺寸小功耗低，并且响应速度快可达左右,加热元件和测量元件在结构上都为悬臂梁结构
3．增加了传感器断电控制功能,并可任意设定断电点,实现了一机多用。
4．采用新型开关电源,降低了整机功耗,增加了仪器传输距离。
5．增加了故障自检功能,便于使用与维护。
6．设计了新的高强度外壳结构,增强了仪器抗冲击能力。
甲烷传感器适用条件
1、适用条件
环境温度：0℃～40℃
相对湿度：≤98%RH
大气压力：80kPa～116kPa
风速：0m/s～8m/s
适用于含有瓦斯或煤尘爆炸危险的煤矿井下。硅加热元件的硅加热器的投影位于通孔中心位置，且外形尺寸远小于通孔的尺寸,所述储液槽内安装有加热器
甲烷传感器性能指标
测量范围：0.00%CH4～4.00%CH4
基本误差 % CH4
0～1.00% ±0.10
1.00～3.00 真值的±10％
3.00～4.00 ±0.30
分辨率： 0.01%CH4
显示方式：4位LED 显示，并能表示显示值的正或负。
响应时间：传感器的响应时间（T90）应≤20s
报警点：可调，传感器出厂时设定在1.00%CH4，报警误差：±0.05%CH4。
报警方式：声、光，其中：
a) 声级强度：≥80dB(A)；
b) 光可见度：20m处清晰可见。
工作方式：扩散式
断电功能：
a) 断电点：可调，传感器出厂时设定在1.50%CH4
b) 复电点：可调，传感器出厂时设定在1.00%CH4
防爆型式：矿用本质安全兼隔爆型
防爆标志：Exdib I Mb
输出信号：
a) 频 率：200~1000Hz；5~15Hz；5~155Hz；（电流脉冲输出或光电隔离输出）
b) 断电输出：5VDC/20mA的直流信号，或光电隔离输出。
外形尺寸：270 × 155 × 55mm
重量：≤1.3kg；
外壳材质：不锈钢。
其中，第一变换器连接辅助电源开关后与温度传感器与温度传感器相连,测试开始，首先通入配比好的一定浓度的甲烷空气混合气体，设定好实验温度
GJJ100G甲烷气体检测传感器本发明的甲烷传感器的功耗主要由采用的单个加热元件的功耗决定，测量元件及环境温度测量元件消耗的功耗极低，因此传感器的总体功耗低,硅加热元件的硅加热器的投影位于通孔中心位置，且外形尺寸远小于通孔的尺寸,可采用微喷印设备在精确定位后制备用作保护层的光刻胶。GJJ100G甲烷气体检测传感器对硅加热元件外表面露出的硅进行氧化，形成厚度均匀的薄层氧化硅，其厚度为十数至，作为钝化保护层,在结自停止刻蚀的作用下，硅加热元件的型硅不被刻蚀，由型硅正面刻蚀的深度至少以完全释放出硅加热元件，优选刻穿硅片形成通孔。
