GJ4/100高浓度甲烷传感器第十六步，沿第七步所述在制备有单片甲烷气体检测器的硅圆片背面上的划片槽划片，沿本步骤所述划片槽划片的切割深度只有一个硅圆片的厚度，去除掉所述制备有单片甲烷气体检测器的硅圆片上的切割的硅，露出单片高温加热器上的电极引出端;,通过传感器本身具有的显示器件进行本地显示。GJ4/100高浓度甲烷传感器如调校周期短积碳中毒激活等从根本上是源于使用催化剂及催化剂载体,为具有隔离功能的电源模块，为通信芯片提供电源,固定端及电极端均由硅层加工而成，并在硅层上设有氧化硅层在氧化硅层上设有金属层;所述固定端及电极端的硅层内均设有掺杂硅层，金属层均通过氧化娃层的窗口与掺杂娃层直接接触并构成欧姆接触;键合固定端电极引出端与支撑端均由硅层加工而成，并在硅层上设有氧化硅层，在氧化硅层上设有金属层;加热元件同样由硅层加工而成，并在硅层的外表面设有钝化保护层;所述加热元件设有高温加热单元两个对称设置的硅悬臂;所述高温加热单元为圆环状，或多个加热条的并联;所述硅悬臂的长度大于;所述单个的娃悬臂的一端与高温加热单元相连，另一端与支座上的一个固定端相连;电极引出端也设在支座的埋层氧化硅上;每个键合固定端固定端均与一个对应的电极引出端的一端相连，尤其是金属层是相连接的。
甲烷传感器产品介绍
甲烷传感器满足了我国煤矿监测井下甲烷浓度的需要。它可以连续自动地将井下甲烷浓度转换成标准电信号输送给配接设备，并具有就地显示沼气浓度值，超限声光报警等功能。传感器经国家防爆检验机关进行联机检验后, 可与国内各类型监测系统及断电仪、风电瓦斯闭锁装置配套，适宜在煤矿采掘工作面、机电硐室，回风巷道等地点固定使用。可以光刻胶作为保护层,通过上述过程，在储液槽内的液体介质达到温箱内设定温度后，通过控制循环泵将储液槽内液体介质泵送到换热器，与温箱中的空气进行热交换，使温箱温度达到设定温度
甲烷传感器主要特点
1．采用单片微机和高集成数字化电路，使电路结构简单，性能可靠，便于维修与调试。
2．实现了红外遥控调校零点、标校点、报警点等功能,使调校方便简单。微控制器连接于该调理电路，内部集成模数转换模块，将调理后的环境温度信号和甲烷浓度信号转换成数字信号,所述保护层覆盖除加热元件测量元件悬空结构以及环境温度测量元件的测量电阻以外的硅片正面部分,第一变换器连接真空泵开关后与真空泵相连
3．增加了传感器断电控制功能,并可任意设定断电点,实现了一机多用。
4．采用新型开关电源,降低了整机功耗,增加了仪器传输距离。
5．增加了故障自检功能,便于使用与维护。
6．设计了新的高强度外壳结构,增强了仪器抗冲击能力。
甲烷传感器适用条件
1、适用条件
环境温度：0℃～40℃
相对湿度：≤98%RH
大气压力：80kPa～116kPa
风速：0m/s～8m/s
适用于含有瓦斯或煤尘爆炸危险的煤矿井下。对于甲烷传感器来讲，即要求能够采集和显示本地的甲烷浓度，进行本地的超限报警，又能够利用远程通讯功能，输出远端相关地点的甲烷浓度和报警信息,同时，在本发明的硅加热元件的外表面设置的钝化层也降低了外界环境对上述元器件的影响，从而进一步提高了本发明的甲烷传感器性能的稳定性
甲烷传感器性能指标
测量范围：0.00%CH4～4.00%CH4
基本误差 % CH4
0～1.00% ±0.10
1.00～3.00 真值的±10％
3.00～4.00 ±0.30
分辨率： 0.01%CH4
显示方式：4位LED 显示，并能表示显示值的正或负。
响应时间：传感器的响应时间（T90）应≤20s
报警点：可调，传感器出厂时设定在1.00%CH4，报警误差：±0.05%CH4。
报警方式：声、光，其中：
a) 声级强度：≥80dB(A)；
b) 光可见度：20m处清晰可见。
工作方式：扩散式
断电功能：
a) 断电点：可调，传感器出厂时设定在1.50%CH4
b) 复电点：可调，传感器出厂时设定在1.00%CH4
防爆型式：矿用本质安全兼隔爆型
防爆标志：Exdib I Mb
输出信号：
a) 频 率：200~1000Hz；5~15Hz；5~155Hz；（电流脉冲输出或光电隔离输出）
b) 断电输出：5VDC/20mA的直流信号，或光电隔离输出。
外形尺寸：270 × 155 × 55mm
重量：≤1.3kg；
外壳材质：不锈钢。
所述硅加热元件包括两个固定端硅加热器两个硅悬臂,固定端的硅层设在埋层氧化硅之上,但不与硅框架支座的其它顶层硅相连通
GJ4/100高浓度甲烷传感器硅加热元件的硅加热器的投影位于通孔中心位置，且外形尺寸远小于通孔的尺寸,也可使用覆盖在基片正面的掩蔽版采用喷涂的方法制备所述用作保护层的光刻胶,但是由于矿井中自然释放的硫化物氯化物和爆破作业释放的等有害气体，以及矿井中水汽灰尘等使得井下作业环境较差，往往会造成传感器暂时性中毒，造成监测数据不准确，影响安全监控效果。GJ4/100高浓度甲烷传感器在型硅衬底的背面进行与正面刻蚀窗口对准的光刻，形成背面刻蚀窗口的图形,该数据采集模块还包括控制电路和通信接口，该控制电路连接于该微控制器，该通信接口连接在该控制电路与外部的上位机之间，以进行该数据采集模块和外部上位机的双向通信,目前，钻井过程中需要针对井下可燃烷烃类气体进行检测，井下烷烃类气体一般以甲烷为主，并且随着钻井深度的增加井下检测环境温度不断升高，最高可达°。
