GJG100高低浓甲烷传感器根据本发明的第二方面，具有双向数据传输功能的甲烷传感器包括：甲烷浓度检测桥路，用于检测本地甲烷浓度，并将其转换成甲烷浓度信号,《煤矿安全规程》第条规定：“甲烷传感器便携式甲烷检测报警仪等采用载体催化元件的甲烷检测设备，每天必须用校准气样和空气气样调校一次，每天必须对甲烷超限断电功能进行测试”。GJG100高低浓甲烷传感器五通阀另一个通路通过进气管路依次连接流量计与截止阀后，与温箱内设置的换热管进气端相连,本发明的基于硅加热器的甲烷传感器采用价格低廉的普通型硅片为衬底，而不是高价格的硅片，这使得原料成本大幅降低。
甲烷传感器产品介绍
甲烷传感器满足了我国煤矿监测井下甲烷浓度的需要。它可以连续自动地将井下甲烷浓度转换成标准电信号输送给配接设备，并具有就地显示沼气浓度值，超限声光报警等功能。传感器经国家防爆检验机关进行联机检验后, 可与国内各类型监测系统及断电仪、风电瓦斯闭锁装置配套，适宜在煤矿采掘工作面、机电硐室，回风巷道等地点固定使用。固定端的硅层内设有掺杂硅层，金属层通过氧化硅层的窗口与固定端的掺杂硅层直接接触构成欧姆接触;测温元件由硅层加工而成，并在硅层的外表面设有钝化保护层，悬在空气中的测温元件通过固定端固定在支座上的埋层氧化硅上，两个固定端构成测温元件的电通路的两个端子,所述加热元件的固定端与测量元件的固定端相互独立的设在支座上，其余部分悬置在空气中,本发明的甲烷传感器的硅加热元件采用性能稳定的单晶硅加工得到，这使本发明的甲烷传感器在高温工作状态下具有良好的稳定性与长的寿命
甲烷传感器主要特点
1．采用单片微机和高集成数字化电路，使电路结构简单，性能可靠，便于维修与调试。
2．实现了红外遥控调校零点、标校点、报警点等功能,使调校方便简单。本发明的甲烷传感器的加热元件测量元件与环境温度测量元件结构上的独立，便于单独调控加热元件同时单独对测温元件进行检测，使加热与测温之间不存在耦合关系，不再受传统的单一元件加热与测温功能复用的限制，这使本发明的甲烷传感器可具有多种工作模式，且使调控配置简单灵活，能进一步提高本发明甲烷传感器的智能化水平及传感性能,所述单个的硅悬臂的一端与硅加热器相连，另一端与硅框架支座上的固定端相连，两个硅悬臂将硅加热器悬于空气中,为了实现高温井下烷烃类气体的检测，需要针对现有的甲烷传感器在不同温度不同浓度下的输出特性进行测试
3．增加了传感器断电控制功能,并可任意设定断电点,实现了一机多用。
4．采用新型开关电源,降低了整机功耗,增加了仪器传输距离。
5．增加了故障自检功能,便于使用与维护。
6．设计了新的高强度外壳结构,增强了仪器抗冲击能力。
甲烷传感器适用条件
1、适用条件
环境温度：0℃～40℃
相对湿度：≤98%RH
大气压力：80kPa～116kPa
风速：0m/s～8m/s
适用于含有瓦斯或煤尘爆炸危险的煤矿井下。解毒装置可由柱状活性炭，和或碱性物质组成,数据采集模块通电初始化，上位机与数据采集模块建立通信,压缩机的排气管路与储液槽底面连通，由此压缩机通过吸气管路吸入制冷气体后，由排气管路排出到储液槽内，实现储液槽内液体介质的制冷
甲烷传感器性能指标
测量范围：0.00%CH4～4.00%CH4
基本误差 % CH4
0～1.00% ±0.10
1.00～3.00 真值的±10％
3.00～4.00 ±0.30
分辨率： 0.01%CH4
显示方式：4位LED 显示，并能表示显示值的正或负。
响应时间：传感器的响应时间（T90）应≤20s
报警点：可调，传感器出厂时设定在1.00%CH4，报警误差：±0.05%CH4。
报警方式：声、光，其中：
a) 声级强度：≥80dB(A)；
b) 光可见度：20m处清晰可见。
工作方式：扩散式
断电功能：
a) 断电点：可调，传感器出厂时设定在1.50%CH4
b) 复电点：可调，传感器出厂时设定在1.00%CH4
防爆型式：矿用本质安全兼隔爆型
防爆标志：Exdib I Mb
输出信号：
a) 频 率：200~1000Hz；5~15Hz；5~155Hz；（电流脉冲输出或光电隔离输出）
b) 断电输出：5VDC/20mA的直流信号，或光电隔离输出。
外形尺寸：270 × 155 × 55mm
重量：≤1.3kg；
外壳材质：不锈钢。
第四步，制备金属，并图形化所制备的金属形成固定端若干键合支撑端固定端键合固定端支撑端电极引出端上与电极端的金属层以及固定端键合固定端与电极引出端之间的连接金属层,所述娃加热兀件的硅加热器及硅悬臂外表面设有钝化保护层;所述固定端设在型硅衬底上，包括型硅型硅上的氧化硅层及用作电引出焊盘金属，所述电引出焊盘金属设在型硅之上的氧化硅层上，且电引出焊盘金属通过氧化硅层的窗口与其下面的型硅直接接触构成欧姆接触，电引出焊盘金属与其下的型硅层接触部分没有氧化硅层
GJG100高低浓甲烷传感器所述钝化保护层为氧化硅，或氧化铪，或氧化硅氧化铝复合层，或氧化铪氧化铝复合层，或氧化铪氮化硅复合层，或氧化铝氮化硅复合层，或氧化硅氮化硅复合层，或氧化硅氧化铪氧化铝氮化硅几种材料组合形成的复合层,交流电源连接于电源转换控制电路，电源转换控制电路连接于调理电路微控制器和控制电路，电源转换控制电路将交流电源提供的交流电转换为适合调理电路微控制器和控制电路使用的电压输出,所述每个支撑臂的长度至少。GJG100高低浓甲烷传感器有益效果：本发明提供了一种新型的甲烷传感器，该甲烷传感器以硅为加工材料，采用兼容的工艺加工，该甲烷传感器基于单个加热元件单独的测量元件而未采用催化剂实现对低浓度甲烷的检测，并设有单独的环境温度传感元件检测传感器的片上温度,有益效果是：采用车载方式，灵活性好易于移动，现场操作性强。
