GJC4/40（A）便携式甲烷传感器固定端的硅层设在埋层氧化硅之上,一种使用权利要求所述传感器的甲烷检测应用，使用两个甲烷传感器，其中一个与环境空气接触，另一个进行气密性封装，保持与环境空气为隔绝密封,对硅加热元件外表面露出的硅进行氧化，形成厚度均匀的薄层氧化硅，其厚度为十数至，作为钝化保护层。GJC4/40（A）便携式甲烷传感器光刻形成正面刻蚀窗口图形，刻蚀去除掉正面刻蚀窗口图形内的氧化硅层，随后采用反应离子刻蚀方法干法刻蚀继续去除掉顶层硅，刻蚀停止于埋层氧化硅，刻蚀后在埋层氧化硅层上形成硅元件固定端的结构图形并刻蚀去除掉与背面刻蚀窗口对应的窗口内的其余氧化硅层及顶层硅，所形成的硅元件及与其连接的两个固定端与埋层氧化硅层上的其余顶层硅不相连，同一个硅元件的两个固定端不与硅框架支座上的其余顶层硅相连，也不通过硅框架支座上的其余顶层硅相连,制备的钝化保护层覆盖硅元件外表面。
甲烷传感器产品介绍
甲烷传感器满足了我国煤矿监测井下甲烷浓度的需要。它可以连续自动地将井下甲烷浓度转换成标准电信号输送给配接设备，并具有就地显示沼气浓度值，超限声光报警等功能。传感器经国家防爆检验机关进行联机检验后, 可与国内各类型监测系统及断电仪、风电瓦斯闭锁装置配套，适宜在煤矿采掘工作面、机电硐室，回风巷道等地点固定使用。目前用于煤矿井下检测低浓度甲烷的仍是基于传统铂丝加热的催化燃烧式甲烷传感器，其功耗较大，尤其是催化剂的使用导致甲烷检测性能不稳定校验时间短等缺点;而红外甲烷传感器价格高传感元件受粉尘与水汽严重影响,所述测温元件设有测温单元两个对称设置的连接臂，个对称设置的支撑臂;所述测温单元连接臂支撑臂固定端依次相连;所述测温单元与单片高温加热器的高温加热单元结构形状相同，尺寸稍大;所述键合支撑端固定端均相互独立的设在支座上的埋层氧化硅上
甲烷传感器主要特点
1．采用单片微机和高集成数字化电路，使电路结构简单，性能可靠，便于维修与调试。
2．实现了红外遥控调校零点、标校点、报警点等功能,使调校方便简单。本发明的硅加热器使用普通的硅圆片进行加工且远离硅衬底,具有双向数据传输功能的甲烷传感器的第一实施例，包括：甲烷传感器，用于检测本地环境中的甲烷浓度，并将其转换成甲烷浓度信号
3．增加了传感器断电控制功能,并可任意设定断电点,实现了一机多用。
4．采用新型开关电源,降低了整机功耗,增加了仪器传输距离。
5．增加了故障自检功能,便于使用与维护。
6．设计了新的高强度外壳结构,增强了仪器抗冲击能力。
甲烷传感器适用条件
1、适用条件
环境温度：0℃～40℃
相对湿度：≤98%RH
大气压力：80kPa～116kPa
风速：0m/s～8m/s
适用于含有瓦斯或煤尘爆炸危险的煤矿井下。所述钝化保护层为氧化硅，或氧化铪，或氧化硅氧化铝复合层，或氧化铪氧化铝复合层，或氧化铪氮化硅复合层，或氧化铝氮化硅复合层，或氧化硅氮化硅复合层，或氧化硅氧化铪氧化铝氮化硅几种材料组合形成的复合层,一种使用权利要求所述传感器的甲烷检测应用，使用两个甲烷检测传感器，其中一个与环境空气接触，另一个进行气密性封装，保持与环境空气为隔绝密封,本实施例中，箱体的侧面顶部位置设置三个进线柱(示出于图，分别用于将加热装置
甲烷传感器性能指标
测量范围：0.00%CH4～4.00%CH4
基本误差 % CH4
0～1.00% ±0.10
1.00～3.00 真值的±10％
3.00～4.00 ±0.30
分辨率： 0.01%CH4
显示方式：4位LED 显示，并能表示显示值的正或负。
响应时间：传感器的响应时间（T90）应≤20s
报警点：可调，传感器出厂时设定在1.00%CH4，报警误差：±0.05%CH4。
报警方式：声、光，其中：
a) 声级强度：≥80dB(A)；
b) 光可见度：20m处清晰可见。
工作方式：扩散式
断电功能：
a) 断电点：可调，传感器出厂时设定在1.50%CH4
b) 复电点：可调，传感器出厂时设定在1.00%CH4
防爆型式：矿用本质安全兼隔爆型
防爆标志：Exdib I Mb
输出信号：
a) 频 率：200~1000Hz；5~15Hz；5~155Hz；（电流脉冲输出或光电隔离输出）
b) 断电输出：5VDC/20mA的直流信号，或光电隔离输出。
外形尺寸：270 × 155 × 55mm
重量：≤1.3kg；
外壳材质：不锈钢。
避免逃生自救的盲目性,优点：本发明提供的全硅甲烷传感器对低浓度甲烷具有高灵敏度的响应信号，其制备方法可与工艺兼容，成本低容易批量生产与校准，具有良好的一致性互换性，本发明的甲烷传感器尺寸小响应速度快传感器功耗低灵敏度高输出信号线性度好寿命长,这是因为单晶硅不存在钼钨等金属加热材料在摄氏度以上的高温容易挥发迁移等缺点也不存在多晶硅电阻在高温下晶界电阻易于变化无法掌控的缺点
GJC4/40（A）便携式甲烷传感器处理来自远端的甲烷浓度数据包，得到用于显示的带有标识的远端甲烷浓度值数据,数据采集模块通过通信接口与上位机相连。GJC4/40（A）便携式甲烷传感器这是因为单晶硅不存在钼钨等金属加热材料在摄氏度以上的高温容易挥发迁移等缺点也不存在多晶硅电阻在高温下晶界电阻易于变化无法掌控的缺点,也可使用覆盖在基片正面的掩蔽版采用喷涂的方法制备所述用作保护层的光刻胶，所述掩蔽版仅露出硅元件，而其余的基片正面部分被掩蔽版遮挡住。
