GJH100G矿用管道激光甲烷传感器该甲烷传感器催化元件解毒装置包括箱体加热装置和解毒装置,实施例的甲烷传感器催化元件解毒装置，通过在箱体内设置加热装置和解毒装置定期对甲烷传感器进行干燥和解毒，提高了甲烷传感器的检测精度，增加了甲烷传感器的实用寿命，减少了设备的购买数量,本发明的全硅甲烷传感器以硅元件为加热元件和甲烷检测元件，不使用催化剂可实现低浓度甲烷气体(的检测。GJH100G矿用管道激光甲烷传感器当甲烷传感器干燥和解毒结束后，将进物口铝板从进屋口取出，从而取出干燥和解毒后的甲烷传感器,也可使用覆盖在基片正面的掩蔽版采用喷涂的方法制备所述用作保护层的光刻胶，所述掩蔽版仅露出硅元件，而其余的基片正面部分被掩蔽版遮挡住。
甲烷传感器产品介绍
甲烷传感器满足了我国煤矿监测井下甲烷浓度的需要。它可以连续自动地将井下甲烷浓度转换成标准电信号输送给配接设备，并具有就地显示沼气浓度值，超限声光报警等功能。传感器经国家防爆检验机关进行联机检验后, 可与国内各类型监测系统及断电仪、风电瓦斯闭锁装置配套，适宜在煤矿采掘工作面、机电硐室，回风巷道等地点固定使用。因此本发明具有以下技术效果：,所述转折点为电阻随电流或电压增大而出现的电阻最大点，当电流或电压继续增大时，电阻不在继续增大反而减小,单向模拟通信单元由等组成，用于输出由微处理器输出的与浓度成正比的频率信号，可单向上传至分站等设备
甲烷传感器主要特点
1．采用单片微机和高集成数字化电路，使电路结构简单，性能可靠，便于维修与调试。
2．实现了红外遥控调校零点、标校点、报警点等功能,使调校方便简单。当甲烷传感器置于甲烷传感器催化元件解毒装置后，将进物口铝板插入进物口，使进物口封闭,这是因为单晶硅不存在钼钨等金属加热材料在摄氏度以上的高温容易挥发迁移等缺点也不存在多晶硅电阻在高温下晶界电阻易于变化无法掌控的缺点
3．增加了传感器断电控制功能,并可任意设定断电点,实现了一机多用。
4．采用新型开关电源,降低了整机功耗,增加了仪器传输距离。
5．增加了故障自检功能,便于使用与维护。
6．设计了新的高强度外壳结构,增强了仪器抗冲击能力。
甲烷传感器适用条件
1、适用条件
环境温度：0℃～40℃
相对湿度：≤98%RH
大气压力：80kPa～116kPa
风速：0m/s～8m/s
适用于含有瓦斯或煤尘爆炸危险的煤矿井下。在基于湿法双向刻蚀娃的甲烷传感器的两个固定端上施加电压或通以电流使硅加热元件的工作点位于其电流-电阻特性曲线中转折点左侧的工作点区域加热元件的硅加热器发热，其特征在于电加热温度在摄氏度以上,本装置使用时，首先将要检定的甲烷传感器挂置在甲烷传感器检定装置的不锈钢伸缩架上，将要检定的甲烷报警仪放置在甲烷报警仪检定装置的不锈钢卡槽内,进风孔出风孔和风扇
甲烷传感器性能指标
测量范围：0.00%CH4～4.00%CH4
基本误差 % CH4
0～1.00% ±0.10
1.00～3.00 真值的±10％
3.00～4.00 ±0.30
分辨率： 0.01%CH4
显示方式：4位LED 显示，并能表示显示值的正或负。
响应时间：传感器的响应时间（T90）应≤20s
报警点：可调，传感器出厂时设定在1.00%CH4，报警误差：±0.05%CH4。
报警方式：声、光，其中：
a) 声级强度：≥80dB(A)；
b) 光可见度：20m处清晰可见。
工作方式：扩散式
断电功能：
a) 断电点：可调，传感器出厂时设定在1.50%CH4
b) 复电点：可调，传感器出厂时设定在1.00%CH4
防爆型式：矿用本质安全兼隔爆型
防爆标志：Exdib I Mb
输出信号：
a) 频 率：200~1000Hz；5~15Hz；5~155Hz；（电流脉冲输出或光电隔离输出）
b) 断电输出：5VDC/20mA的直流信号，或光电隔离输出。
外形尺寸：270 × 155 × 55mm
重量：≤1.3kg；
外壳材质：不锈钢。
数据采集模块采集环境温度信号和甲烷浓度信号，并将环境温度信号和甲烷浓度信号转换为数字信号，传输给外部的上位机,可以光刻胶作为保护层,在型硅衬底的正面制备光刻胶，光刻后形成硅加热元件硅加热元件的固定端周围设置的隔离沟槽及正面刻蚀窗口的图形，并采用反应离子刻蚀方法干法刻蚀所露出的氧化硅层及其下面的型硅，刻蚀深度大于型硅与第二步生成的氧化硅层厚度之和，去除光刻月父
GJH100G矿用管道激光甲烷传感器在基片背面光刻形成背面刻蚀窗口图形后，采用湿法刻蚀或或等干法刻蚀方法刻蚀去除掉背面刻蚀窗口所露出的基片的硅衬底，刻蚀停止于埋层氧化硅,优点:本发明提供的基于湿法双向刻蚀硅的甲烷传感器其制备方法可与工艺兼容。GJH100G矿用管道激光甲烷传感器所述总金属连接端设在型硅衬底的边缘，当在总金属连接端施加电势时，整个硅圆片上的所有硅加热元件的型硅形成良好电连接并具有与总金属连接端相同的电势，所述金属连接线设在划片槽内,所述固定端在硅框架支座上的埋层氧化硅上,中的高温甲烷传感器测试装置，恒温箱能够提供的恒温环境，将温度传感器和待测甲烷传感器置于恒温箱中。
