GJC4/40甲烷传感器 车载式甲烷传感器厂家批发在型硅衬底的正面通过溅射淀积或蒸发的方法形成金属层，所述金属层的材料为铝，厚度至，金属层退火，从而形成与型硅之间的欧姆接触,要解决的技术问题是：提供一种针对流动现场调校的车载甲烷传感器报警仪检定装置，实现流动服务，可以在矿区对甲烷传感器甲烷报警仪进行及时地现场检定，从而彻底消除安全隐患，方便服务矿区,目前基于传统铂丝加热的催化燃烧式甲烷传感器仍在煤矿井下广泛应用。GJC4/40甲烷传感器 车载式甲烷传感器厂家批发所形成的背面刻蚀窗口图形与正面刻蚀窗口图形都可小于单独进行正面湿法刻蚀刻穿硅片所需的正面刻蚀窗口图形，所形成的背面刻蚀窗口图形与正面刻蚀窗口图形的中心重叠，且各边方向相同，所形成的背面刻蚀窗口图形小于正面刻蚀窗口图形，刻蚀窗口大小应保证能刻穿硅片形成通孔，通孔尺寸远大于硅加热器的外形尺寸，且硅加热元件的硅加热器位于正面刻蚀窗口和背面刻蚀窗口的中心位置,处理器，用于：处理来自采集单元的甲烷浓度信号，得到用于显示本地甲烷浓度值的甲烷浓度值数据含有本地标识的甲烷浓度数据包和甲烷浓度报警信号,所述娃加热兀件的硅加热器及硅悬臂外表面设有钝化保护层;所述固定端设在型硅衬底上，包括型硅型硅上的氧化硅层及用作电引出焊盘金属，所述电引出焊盘金属设在型硅之上的氧化硅层上，且电引出焊盘金属通过氧化硅层的窗口与其下面的型硅直接接触构成欧姆接触，电引出焊盘金属与其下的型硅层接触部分没有氧化硅层。
甲烷传感器产品介绍
甲烷传感器满足了我国煤矿监测井下甲烷浓度的需要。它可以连续自动地将井下甲烷浓度转换成标准电信号输送给配接设备，并具有就地显示沼气浓度值，超限声光报警等功能。传感器经国家防爆检验机关进行联机检验后, 可与国内各类型监测系统及断电仪、风电瓦斯闭锁装置配套，适宜在煤矿采掘工作面、机电硐室，回风巷道等地点固定使用。微处理器，用于将所述放大电路输出的甲烷浓度信号转换成数字信号，经由运算处理，形成用于显示的本地甲烷浓度数据带有本地标识的本地甲烷浓度数据包以及甲烷浓度报警信号,并且本发明的硅加热元件采用湿法硅刻蚀从正面和背面双向同时刻蚀硅的方法加以释放，能节省约一半的刻蚀时间，提高约倍的刻蚀加工效率
甲烷传感器主要特点
1．采用单片微机和高集成数字化电路，使电路结构简单，性能可靠，便于维修与调试。
2．实现了红外遥控调校零点、标校点、报警点等功能,使调校方便简单。恒温箱加热直至到达所设定的温度，此过程中上位机一直采集恒温箱的温度,根据需要在金属层上光刻，刻蚀金属层后形成电引出焊盘金属金属连接线及总金属连接端,所形成的每个娃加热元件的电引出焊盘金属与金属连接线均通过金属层相连通，金属连接线与总金属连接端通过金属层相连通
3．增加了传感器断电控制功能,并可任意设定断电点,实现了一机多用。
4．采用新型开关电源,降低了整机功耗,增加了仪器传输距离。
5．增加了故障自检功能,便于使用与维护。
6．设计了新的高强度外壳结构,增强了仪器抗冲击能力。
甲烷传感器适用条件
1、适用条件
环境温度：0℃～40℃
相对湿度：≤98%RH
大气压力：80kPa～116kPa
风速：0m/s～8m/s
适用于含有瓦斯或煤尘爆炸危险的煤矿井下。也可使用覆盖在基片正面的掩蔽版采用喷涂的方法制备所述用作保护层的光刻胶，所述掩蔽版仅露出硅元件，而其余的基片正面部分被掩蔽版遮挡住,浓度信息可通过显示驱动模块及本地甲烷浓度显示模块即数码显示模块进行本地显示,可降低成本具有良好的一致性
甲烷传感器性能指标
测量范围：0.00%CH4～4.00%CH4
基本误差 % CH4
0～1.00% ±0.10
1.00～3.00 真值的±10％
3.00～4.00 ±0.30
分辨率： 0.01%CH4
显示方式：4位LED 显示，并能表示显示值的正或负。
响应时间：传感器的响应时间（T90）应≤20s
报警点：可调，传感器出厂时设定在1.00%CH4，报警误差：±0.05%CH4。
报警方式：声、光，其中：
a) 声级强度：≥80dB(A)；
b) 光可见度：20m处清晰可见。
工作方式：扩散式
断电功能：
a) 断电点：可调，传感器出厂时设定在1.50%CH4
b) 复电点：可调，传感器出厂时设定在1.00%CH4
防爆型式：矿用本质安全兼隔爆型
防爆标志：Exdib I Mb
输出信号：
a) 频 率：200~1000Hz；5~15Hz；5~155Hz；（电流脉冲输出或光电隔离输出）
b) 断电输出：5VDC/20mA的直流信号，或光电隔离输出。
外形尺寸：270 × 155 × 55mm
重量：≤1.3kg；
外壳材质：不锈钢。
所形成的背面刻蚀窗口图形与正面刻蚀窗口图形都可小于单独进行正面湿法刻蚀刻穿硅片所需的正面刻蚀窗口图形，所形成的背面刻蚀窗口图形与正面刻蚀窗口图形的中心重叠，且各边方向相同，所形成的背面刻蚀窗口图形小于正面刻蚀窗口图形，刻蚀窗口大小应保证能刻穿硅片形成通孔，通孔尺寸远大于娃加热器的外形尺寸,且娃加热兀件的娃加热器位于正面刻蚀窗口和背面刻蚀窗口的中心位置,所述单个的硅悬臂的一端与硅加热器相连，另一端与硅框架支座上的固定端相连，两个硅悬臂将硅加热器悬于空气中
GJC4/40甲烷传感器 车载式甲烷传感器厂家批发因此本发明具有以下技术效果：,恒温箱提供的恒温环境，温度传感器和待测的甲烷传感器密闭在恒温箱中，并分别连接于数据采集模块,随着物联网的发展，当前的甲烷传感器无法满足单兵装备对低功耗长寿命低成本的检测低浓度甲烷的甲烷传感器的需求。GJC4/40甲烷传感器 车载式甲烷传感器厂家批发本实施例中，箱体的侧面顶部位置设置三个进线柱(示出于图，分别用于将加热装置,若在支座上设有环境温度检测器，则环境温度检测器与固定端及若干键合支撑端相互独立不存在硅层上的连接;所述键合支撑端固定端均由硅层加工而成，均包括硅层设在硅层外的氧化硅层设在氧化硅层上的金属层。
