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MKS质量流量计GE50A013502C4V020
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GE50A是通用的,弹性体密封的MFC,非常适用于各种需要流量控制能力从5 sccm到50 slm N2的应用当量。GE50A集成了比较新的数字流量控制电子设备以及久经考验的,获得专利的热传感器和机械设计。
GE50A数字控制MFC可提供模拟或数字I / O。数字化控制电子器件采用比较新的MKS控制算法,可提供快速,可重复的功能在整个设备控制范围内对设定点的响应。典型的响应时间在500毫秒的量级。
包括数字校准,可产生设定点精度的1%在校准气体上。 GE50A的模拟和数字I / O可以轻松用于替换与1179A MFC相同的I / O类型。所有GE50A均包含Modbus。辅助I / O(不包括PROFINET®和EtherCAT®)。
GE50A利用3sccm的MFC比较常使用的标准3英寸占位面积到50 slm的流量范围,无需修改现有的气体管线即可使用配置。 GE50A的设计采用了比较少的弹性体。有仅一个外部弹性体密封件和弹性体阀塞。
否则,所有湿润的表面是金属的。 GE50A标配Viton®密封件以及Buna选件,Neoprene®,EPMD或Kalrez®允许设备使用需要以下气体之一的气体备择方案。 GE50A MFC具有常闭型或常开型阀。