矿用无线甲烷传感器 GJT100G甲烷传感器微控制器连接于该调理电路，内部集成模数转换模块，将调理后的环境温度信号和甲烷浓度信号转换成数字信号。控制电路连接于微控制器，通信接口连接在控制电路与外部的上位机之间，实现数据采集模块和外部上位机的双向通信。。矿用无线甲烷传感器 GJT100G甲烷传感器通孔尺寸远大于娃加热器的外形尺寸,且娃加热兀件的娃加热器位于正面刻蚀窗口和背面刻蚀窗口的中心位置；采用反应离子刻蚀方法干法刻蚀露出的背面刻蚀窗口图形内的氧化硅层及其下面的硅，刻蚀深度至，形成湿法刻蚀所需的背面刻蚀窗口；。

甲烷传感器产品介绍

甲烷传感器满足了我国煤矿监测井下甲烷浓度的需要。它可以连续自动地将井下甲烷浓度转换成标准电信号输送给配接设备，并具有就地显示沼气浓度值，超限声光报警等功能。传感器经国家防爆检验机关进行联机检验后, 可与国内各类型监测系统及断电仪、风电瓦斯闭锁装置配套，适宜在煤矿采掘工作面、机电硐室，回风巷道等地点固定使用。并且响应速度快，可达左右；由于采用自加热效应低的单片甲烷气体检测器检测甲烷浓度，其热噪声的降低使传感器的灵敏度得到提高；甲烷传感器可采用工艺批量生产，可具有良好的一致性，因此还可批量校准，因此能进一步提高传感器性能并降低传感器校准环节的成本

甲烷传感器主要特点

1．采用单片微机和高集成数字化电路，使电路结构简单，性能可靠，便于维修与调试。

2．实现了红外遥控调校零点、标校点、报警点等功能,使调校方便简单。一种基于单个加热元件的甲烷传感器的甲烷检测应用方法。基于单个加热元件的甲烷传感器的加热元件通以较大电流或施加较大电压进入电流-电阻特性曲线中转折点左侧的工作区域加热器的加热温度在℃以上，转折点为电阻随电流或电压增大而出现的电阻大点，当电流或电压继续增大时，电阻不再继续增大反而减小；

3．增加了传感器断电控制功能,并可任意设定断电点,实现了一机多用。

4．采用新型开关电源,降低了整机功耗,增加了仪器传输距离。

5．增加了故障自检功能,便于使用与维护。

6．设计了新的高强度外壳结构,增强了仪器抗冲击能力。

甲烷传感器适用条件

1、适用条件

环境温度：0℃～40℃

相对湿度：≤98%RH

大气压力：80kPa～116kPa

风速：0m/s～8m/s

适用于含有瓦斯或煤尘爆炸危险的煤矿井下。刻蚀时通过正面的金属给型硅施加高于结自停止刻蚀钝化电势的正电压，以使型硅衬底与型硅层所形成的结处于反偏状态，硅加热元件的型硅在结自停止保护作用下不被腐蚀，刻蚀完成后不仅释放出硅加热元件，背面刻蚀窗口与正面刻蚀窗口形成通孔，硅加热元件的硅加热器中心的投影与通孔中心的投影相重合；

甲烷传感器性能指标

测量范围：0.00%CH4～4.00%CH4

基本误差 % CH4

0～1.00% ±0.10

1.00～3.00 真值的±10％

3.00～4.00 ±0.30

分辨率： 0.01%CH4

显示方式：4位LED 显示，并能表示显示值的正或负。

响应时间：传感器的响应时间（T90）应≤20s

报警点：可调，传感器出厂时设定在1.00%CH4，报警误差：±0.05%CH4。

报警方式：声、光，其中：

a) 声级强度：≥80dB(A)；

b) 光可见度：20m处清晰可见。

工作方式：扩散式

断电功能：

a) 断电点：可调，传感器出厂时设定在1.50%CH4

b) 复电点：可调，传感器出厂时设定在1.00%CH4

防爆型式：矿用本质安全兼隔爆型

防爆标志：Exdib I Mb

输出信号：

a) 频 率：200~1000Hz；5~15Hz；5~155Hz；（电流脉冲输出或光电隔离输出）

b) 断电输出：5VDC/20mA的直流信号，或光电隔离输出。

外形尺寸：270 × 155 × 55mm

重量：≤1.3kg；

外壳材质：不锈钢。

矿用无线甲烷传感器 GJT100G甲烷传感器采用原子层沉积方法在热元件测温元件悬空结构以及环境温度检测器的测量电阻的外表面制备氧化铪，或制备氧化铝薄膜，或制备氧化铪氧化铝复合薄膜。或制备氧化硅氧化铪氧化铝复合薄膜，与第十一步形成的薄层氧化硅层一起构成钝化保护层；。矿用无线甲烷传感器 GJT100G甲烷传感器采用方法在热元件测温元件悬空结构以及环境温度检测器的测量电阻的外表面制备氧化铪，或制备氧化铝薄膜，或制备氧化铪氧化铝复合薄膜，或制备氧化硅氧化铪氧化铝复合薄膜，第十五步，将制备好有单片高温加热器的硅圆片的正面与制备有单片甲烷气体检测器的硅圆片的正面贴合对准。