矿用管道激光甲烷传感器 GJG100J（A）甲烷传感器刻蚀时通过正面的金属给型硅施加高于结自停止刻蚀钝化电势的正电压，以使型硅衬底与型硅层所形成的结处于反偏状态，硅加热元件的型硅在结自停止保护作用下不被腐蚀。。矿用管道激光甲烷传感器 GJG100J（A）甲烷传感器在硅片的正面顶层单晶硅层面制备刻蚀保护层，刻蚀保护层为光刻胶或磷硅玻璃，保护层为光刻胶或磷硅玻璃，刻蚀保护层覆盖整个硅片的正面；。
甲烷传感器产品介绍
甲烷传感器满足了我国煤矿监测井下甲烷浓度的需要。它可以连续自动地将井下甲烷浓度转换成标准电信号输送给配接设备，并具有就地显示沼气浓度值，超限声光报警等功能。传感器经国家防爆检验机关进行联机检验后, 可与国内各类型监测系统及断电仪、风电瓦斯闭锁装置配套，适宜在煤矿采掘工作面、机电硐室，回风巷道等地点固定使用。处理来自远端的甲烷浓度数据包，得到用于显示的带有标识的远端甲烷浓度值数据；双向数据通信单元，用于将处理器输出的甲烷浓度数据包发送给远端，甲烷浓度显示单元，用于分别显示处理器输出的本地甲烷浓度值数据和远端甲烷浓度值数据及其标识；甲烷浓度报警器，用于根据处理器输出的甲烷浓度报警信号，发出声光报警。
甲烷传感器主要特点
1．采用单片微机和高集成数字化电路，使电路结构简单，性能可靠，便于维修与调试。
2．实现了红外遥控调校零点、标校点、报警点等功能,使调校方便简单。第二变换器连接风扇开关后与温箱风扇相连；由此交流电经第二变换器转换为直流电源为温箱风扇供电。第一交流电源还通过连接循环电源开关制冷开关与循环泵开关后，连接加热器压缩机循环泵相连；由此通过交流电直接为加热器压缩机循环泵温度表温度表压力计与流量计提供交流电。
3．增加了传感器断电控制功能,并可任意设定断电点,实现了一机多用。
4．采用新型开关电源,降低了整机功耗,增加了仪器传输距离。
5．增加了故障自检功能,便于使用与维护。
6．设计了新的高强度外壳结构,增强了仪器抗冲击能力。
甲烷传感器适用条件
1、适用条件
环境温度：0℃～40℃
相对湿度：≤98%RH
大气压力：80kPa～116kPa
风速：0m/s～8m/s
适用于含有瓦斯或煤尘爆炸危险的煤矿井下。单片甲烷气体检测器的测温元件通过两个固定端单片高温加热器的两个键合固定端及其上的金属与键合固定端相连接的两个电极引出端在单片高温加热器上构成一个二端子器件，并在的与键合固定端相连接的两个电极引出端上进行引线键合可实现与外部电路的连接；
甲烷传感器性能指标
测量范围：0.00%CH4～4.00%CH4
基本误差 % CH4
0～1.00% ±0.10
1.00～3.00 真值的±10％
3.00～4.00 ±0.30
分辨率： 0.01%CH4
显示方式：4位LED 显示，并能表示显示值的正或负。
响应时间：传感器的响应时间（T90）应≤20s
报警点：可调，传感器出厂时设定在1.00%CH4，报警误差：±0.05%CH4。
报警方式：声、光，其中：
a) 声级强度：≥80dB(A)；
b) 光可见度：20m处清晰可见。
工作方式：扩散式
断电功能：
a) 断电点：可调，传感器出厂时设定在1.50%CH4
b) 复电点：可调，传感器出厂时设定在1.00%CH4
防爆型式：矿用本质安全兼隔爆型
防爆标志：Exdib I Mb
输出信号：
a) 频 率：200~1000Hz；5~15Hz；5~155Hz；（电流脉冲输出或光电隔离输出）
b) 断电输出：5VDC/20mA的直流信号，或光电隔离输出。
外形尺寸：270 × 155 × 55mm
重量：≤1.3kg；
外壳材质：不锈钢。
矿用管道激光甲烷传感器 GJG100J（A）甲烷传感器甲烷传感器催化元件装置，优选的是，箱体侧面设置一进物口，用于将甲烷传感器置于箱体内。甲烷传感器催化元件装置，优选的是，箱体由厚度为的铝板制成。。矿用管道激光甲烷传感器 GJG100J（A）甲烷传感器在结自停止刻蚀的作用下硅加热元件的型硅不被刻蚀，由型硅正面刻蚀深度至少以完全释放出硅加热元件，优选刻穿硅片形成通孔；硅加热元件的硅加热器的投影位于通孔中心位置，且外形尺寸远小于通孔的尺寸；基于硅加热器的甲烷传感器采用价格低廉的普通型硅片为衬底，而不是高价格的硅片，这使得原料成本大幅降低。
