GJG10甲烷传感器 煤矿管道用激光甲烷传感器固定端键合固定端支撑端电极引出端与电均相互独立的设在支座上的埋层氧化硅上；固定端及电均由硅层加工而成，并在硅层上设有氧化硅层在氧化硅层上设有金属层；固定端及电的硅层内均设有掺杂硅层，金属层均通过氧化娃层的窗口与掺杂娃层直接接触并构成欧姆接触；。GJG10甲烷传感器 煤矿管道用激光甲烷传感器硅加热器是多个硅加热条的并联。以增加与空气接触的高温表面积，硅加热器也可以为圆环形状。一种全硅甲烷传感器的甲烷检测应用方法，通过在全硅甲烷传感器的硅元件的两个固定端上施加电压或通以电流使硅元件工作于电流-电阻特性曲线中转折点左侧的工作点区域，使硅元件的硅加热器发热，加热温度在摄氏度以上，单个硅元件工作时的功耗约；。
甲烷传感器产品介绍
甲烷传感器满足了我国煤矿监测井下甲烷浓度的需要。它可以连续自动地将井下甲烷浓度转换成标准电信号输送给配接设备，并具有就地显示沼气浓度值，超限声光报警等功能。传感器经国家防爆检验机关进行联机检验后, 可与国内各类型监测系统及断电仪、风电瓦斯闭锁装置配套，适宜在煤矿采掘工作面、机电硐室，回风巷道等地点固定使用。并且，甲烷传感器仅单片高温加热器的一个加热元件需要加热到高温；单片甲烷气体检测器的测温元件与环境温度检测器都只需极低的电流即可工作。
甲烷传感器主要特点
1．采用单片微机和高集成数字化电路，使电路结构简单，性能可靠，便于维修与调试。
2．实现了红外遥控调校零点、标校点、报警点等功能,使调校方便简单。其中，温度表安装在温箱内部；温度传感器与温度传感器分别安装在温箱内壁与外壁上；储液槽底面上安装有加热器；压缩机的排气管路与储液槽底面连通；循环泵的进口通过进液管路与储液槽内部液体介质连通，出口通过出液管路与设置在温箱内的换热器进液端相连；
3．增加了传感器断电控制功能,并可任意设定断电点,实现了一机多用。
4．采用新型开关电源,降低了整机功耗,增加了仪器传输距离。
5．增加了故障自检功能,便于使用与维护。
6．设计了新的高强度外壳结构,增强了仪器抗冲击能力。
甲烷传感器适用条件
1、适用条件
环境温度：0℃～40℃
相对湿度：≤98%RH
大气压力：80kPa～116kPa
风速：0m/s～8m/s
适用于含有瓦斯或煤尘爆炸危险的煤矿井下。然后将加工好的分离的单片高温加热器与分离的单片甲烷气体检测器采用倒装焊封装制备成整体结构形式的微型甲烷传感器。第四步，制备金属，并图形化所制备的金属形成固定端若干键合支撑端固定端键合固定端支撑端电极引出端上与电的金属层以及固定端键合固定端与电极引出端之间的连接金属层；
甲烷传感器性能指标
测量范围：0.00%CH4～4.00%CH4
基本误差 % CH4
0～1.00% ±0.10
1.00～3.00 真值的±10％
3.00～4.00 ±0.30
分辨率： 0.01%CH4
显示方式：4位LED 显示，并能表示显示值的正或负。
响应时间：传感器的响应时间（T90）应≤20s
报警点：可调，传感器出厂时设定在1.00%CH4，报警误差：±0.05%CH4。
报警方式：声、光，其中：
a) 声级强度：≥80dB(A)；
b) 光可见度：20m处清晰可见。
工作方式：扩散式
断电功能：
a) 断电点：可调，传感器出厂时设定在1.50%CH4
b) 复电点：可调，传感器出厂时设定在1.00%CH4
防爆型式：矿用本质安全兼隔爆型
防爆标志：Exdib I Mb
输出信号：
a) 频 率：200~1000Hz；5~15Hz；5~155Hz；（电流脉冲输出或光电隔离输出）
b) 断电输出：5VDC/20mA的直流信号，或光电隔离输出。
外形尺寸：270 × 155 × 55mm
重量：≤1.3kg；
外壳材质：不锈钢。
GJG10甲烷传感器 煤矿管道用激光甲烷传感器支座包括衬底与设在衬底上的隔离氧化硅层，及设在隔离氧化硅上的顶层单晶硅层；加热元件测量元件与环境温度测量元件采用设在隔离氧化硅上的顶层单晶硅层加工形成，加热元件测量元件与环境温度测量元件的硅结构分别都与隔离氧化硅上的其它的顶层单晶硅层隔离不相连接；。GJG10甲烷传感器 煤矿管道用激光甲烷传感器单晶硅不存在铂钨等金属加热材料在摄氏度以上的高温容易挥发升华迁移等缺点也不存在多晶硅电阻在高温下晶界电阻易于变化无法掌控的缺点。同时，在加热元件测量元件与环境温度测量元件的外表面设置的钝化层也降低了外界环境对上述元器件的影响。。
