分子泵，深冷泵，进口机械泵，精控
Peva-900E / I高精度电子束蒸发器系统是批量生产设备，专用于具有线宽要求的功率IC器件，GaAs晶片和MEMS的提离工艺。电子束蒸发器主要用于肖特基，MMIC，欧姆和栅极或ITO，SiO2生产工艺的金属化。独特的蒸发室设计可实现更高的产量和更高的精度，可靠性以及对工艺的要求。
特征
AST Peva-900E / I的功能包括：
（1）圆顶和坩埚响应的优化设计提离和低温需求。
（2）连续运行的薄膜均匀度控制在±3％以内，以确保整体产品产量
（3）*佳的蒸发器室和泵送系统设计，有效地缩短了循环时间并增加了材料使用率（> 20％）
（4）具有*佳可靠性的薄片（<100mm）制造工艺
（5）全自动智能PC控制系统，可满足对工厂自动化日益增长的需求。
（6）具有诸如增加至200mm的大尺寸，亚微米级，制造能力和更有效的材料使用，更高的产量，可靠性和集成的地面空间使用等优点。
规格参数
沉积室：
单壁 304L不锈钢制，电抛光。
直径约900 mm x高度900 mm（内部）
沉积室泵送系统和真空测量：
1台CTI Torr-400，低温泵（水为16000升/秒），16“ID ASA翻边。
1台CTI 9600，液氦低温水冷压缩机（10'He管线）
低温泵自动再生功能。
1 AST，高真空阀3位，带可调节流阀位置（3个位置），ASA 16“-（19”x 15“）法兰，气动执行机构打开/关闭。
1台Leybold WA251和D60C，1台罗茨泵和1台两级旋转叶片泵（5000升/分钟），ISO 63进口法兰。
1个粗加工阀，ISO 63，波纹管密封，通过气动执行机构打开/关闭。
1个通风阀，KF 25，波纹管密封隔离。
1个防湍流阀，直径1/4“，用于延迟通风。
1个前线阀，KF 40，波纹管密封，通过气动执行机构打开/关闭。
压缩空气分配。
1 GP 307，真空计控制器。（atm~5.0E-10托）
1 GP 274，离子测量头（1.0E-02托~ 1.0E-09托）。
2个GP 275，带钨丝的Pirani头。（atm~5.0E-04托）
联系电话：鲁经理13580816774
