GJC40(A）掘进机传感器硅悬臂的长度大于；单个的硅悬臂的一端与高温热单元相连，另一端与支座上的一个固定端相连；电引出端也设在支座的埋层氧化硅上；每个键合固定端固定端均与一个对应的电引出端的一端相连。。GJC40(A）掘进机传感器或制备方法二为圆片级装焊封装制备权利要求的微型传感器，单片高温热器在一个硅圆片上工，单片气体检测器在另一个硅圆片上工；然后采用圆片级装焊封装制备成微型传感器。光刻形成正面结构的刻蚀窗口的图形，随后采用干法刻蚀去除刻蚀窗口图形中的步生成的氧化硅层及其下的硅层。。
传感器产品介绍
传感器满足了我国煤矿监测井下浓度的需要。它可以连续自动地将井下浓度转换成标准电信号输送给配接设备，并具有就地显示沼气浓度值，超限声光报警等功能。传感器经国家防爆检验机关进行联机检验后, 可与国内各类型监测系统及断电仪、风电瓦斯闭锁装置配套，适宜在煤矿采掘工作面、机电硐室，回风巷道等地点固定使用。环境温度测量元件设在支座上；热元件由两个固定端两个并排设置的支撑臂与热器构成，两个支撑臂的两端分别与固定端和热器相连接，形成二端子器件；每个支撑臂的长度至少；测量元件由两个固定端测量构件和两个支撑臂构成，两个支撑臂分别与测量构件的两端相连接，两个支撑臂的另一端分别与两个固定端相连，构成二端子器件；
传感器主要特点
1．采用单片微机和高集成数字化电路，使电路结构简单，性能可靠，便于维修与调试。
2．实现了红外遥控调校零点、标校点、报警点等功能,使调校方便简单。在硅热元件及其固定端周围设置有去除掉型硅的隔离沟槽，隔离沟槽使硅热元件及其固定端的型硅与型硅衬底上的其余型硅之间为高阻状态，尤其是设在型硅衬底上的硅热元件的两个固定端之间除了由硅悬臂和硅热器构成的电通路之外无其它电路通路。
3．增了传感器断电控制功能,并可任意设定断电点,实现了一机多用。
4．采用新型关电源,降低了整机功耗,增了仪器传输距离。
5．增了故障自检功能,便于使用与维护。
6．设计了新的高强度外壳结构,增强了仪器抗冲击能力。
传感器适用条件
1、适用条件
环境温度：0℃～40℃
相对湿度：≤98%RH
大气压力：80kPa～116kPa
风速：0m/s～8m/s
适用于含有瓦斯或煤尘危险的煤矿井下。在结自停止刻蚀的作用下硅热元件的型硅不被刻蚀，由型硅正面刻蚀深度至少以完全释放出硅热元件，优选刻穿硅片形成通孔；硅热元件的硅热器的投影位于通孔中心位置，且外形尺寸远小于通孔的尺寸；基于硅热器的传感器采用价格低廉的普通型硅片为衬底，而不是高价格的硅片，这使得原料成本大幅降低
传感器性能指标
测量范围：0.00%CH4～4.00%CH4
基本误差 % CH4
0～1.00% ±0.10
1.00～3.00 真值的±10％
3.00～4.00 ±0.30
分辨率： 0.01%CH4
显示方式：4位LED 显示，并能表示显示值的正或负。
响应时间：传感器的响应时间（T90）应≤20s
报警点：可调，传感器出厂时设定在1.00%CH4，报警误差：±0.05%CH4。
报警方式：声、光，其中：
a) 声级强度：≥80dB(A)；
b) 光可见度：20m处清晰可见。
工作方式：扩散式
断电功能：
a) 断电点：可调，传感器出厂时设定在1.50%CH4
b) 复电点：可调，传感器出厂时设定在1.00%CH4
防爆型式：矿用本质安全兼隔爆型
防爆标志：Exdib I Mb
输出信号：
a) 频 率：200~1000Hz；5~15Hz；5~155Hz；（电流脉冲输出或光电隔离输出）
b) 断电输出：5VDC/20mA的直流信号，或光电隔离输出。
外形尺寸：270 × 155 × 55mm
重量：≤1.3kg；
外壳材质：不锈钢。
GJC40(A）掘进机传感器若在支座上设有环境温度检测器，则环境温度检测器与固定端及若干键合支撑端相互独立不存在硅层上的连接；键合支撑端固定端均由硅层工而成。。GJC40(A）掘进机传感器增设了设置单元和单向模拟通信单元。设置单元用于预置浓度报警阈值和本地标识，用可以根据需要设定浓度报警阈值，并且可以调整或改变该传感器的标识。。
