GJC10隔爆兼本质安全型车载式传感器现有催化燃烧式传感器采用铂丝等贵金属绕制的线圈作为热元件，难以批量化生产且一致性较差，且功耗较大。因此，不能很好的满足物联网对传感器的应用需求。。GJC10隔爆兼本质安全型车载式传感器优点：本发明提供的全硅传感器对低浓度具有高灵敏度的响应信号，其制备方法可与工艺兼容，成本低容易批量生产与校准，具有良好的一致性互换性，传感器尺寸小响应速度快传感器功耗低灵敏度高输出信号线性度好寿命长；传感器性能不受催化剂影响，对传感器的性能进行综合优化及补偿时不必考虑催化剂的复杂影响简单易行。。

传感器产品介绍

传感器满足了我国煤矿监测井下浓度的需要。它可以连续自动地将井下浓度转换成标准电信号输送给配接设备，并具有就地显示沼气浓度值，超限声光报警等功能。传感器经国家防爆检验机关进行联机检验后, 可与国内各类型监测系统及断电仪、风电瓦斯闭锁装置配套，适宜在煤矿采掘工作面、机电硐室，回风巷道等地点固定使用。单片气体检测器的正面与单片高温热器的正面平行相对，对准后通过金属的金属键合实现二者的紧密固定与电连接；对准后的单片气体检测器在单片高温热器上的投影特征为：单片气体检测器的个固定端分别与单片高温热器的个键合固定端重合，单片气体检测器的键合支撑端分别与单片高温热器对应的支撑端重合。

传感器主要特点

1．采用单片微机和高集成数字化电路，使电路结构简单，性能可靠，便于维修与调试。

2．实现了红外遥控调校零点、标校点、报警点等功能,使调校方便简单。在型硅衬底的正面制备光刻胶，光刻后形成硅热元件硅热元件的固定端周围设置的隔离沟槽及正面刻蚀窗口的图形，随后采用，反应离子刻蚀方法干法刻蚀露出的氧化硅层及其下面的硅，刻蚀深度大于型硅与氧化硅层厚度之和，去除光刻胶

3．增了传感器断电控制功能,并可任意设定断电点,实现了一机多用。

4．采用新型关电源,降低了整机功耗,增了仪器传输距离。

5．增了故障自检功能,便于使用与维护。

6．设计了新的高强度外壳结构,增强了仪器抗冲击能力。

传感器适用条件

1、适用条件

环境温度：0℃～40℃

相对湿度：≤98%RH

大气压力：80kPa～116kPa

风速：0m/s～8m/s

适用于含有瓦斯或煤尘危险的煤矿井下。根据需要在金属层上光刻，刻蚀金属层后形成电引出焊盘金属金属连接线及总金属连接端,所形成的每个娃热元件的电引出焊盘金属与金属连接线均通过金属层相连通，金属连接线与总金属连接端通过金属层相连通；总金属连接端设在型硅衬底的边缘，当在总金属连接端施电势时。

传感器性能指标

测量范围：0.00%CH4～4.00%CH4

基本误差 % CH4

0～1.00% ±0.10

1.00～3.00 真值的±10％

3.00～4.00 ±0.30

分辨率： 0.01%CH4

显示方式：4位LED 显示，并能表示显示值的正或负。

响应时间：传感器的响应时间（T90）应≤20s

报警点：可调，传感器出厂时设定在1.00%CH4，报警误差：±0.05%CH4。

报警方式：声、光，其中：

a) 声级强度：≥80dB(A)；

b) 光可见度：20m处清晰可见。

工作方式：扩散式

断电功能：

a) 断电点：可调，传感器出厂时设定在1.50%CH4

b) 复电点：可调，传感器出厂时设定在1.00%CH4

防爆型式：矿用本质安全兼隔爆型

防爆标志：Exdib I Mb

输出信号：

a) 频 率：200~1000Hz；5~15Hz；5~155Hz；（电流脉冲输出或光电隔离输出）

b) 断电输出：5VDC/20mA的直流信号，或光电隔离输出。

外形尺寸：270 × 155 × 55mm

重量：≤1.3kg；

外壳材质：不锈钢。

GJC10隔爆兼本质安全型车载式传感器同时，防震防水效果好，检定可靠性高。主要包括车体型传感器检定装置型报警仪检定装置笔记本电脑标准气瓶和空气压缩机。。GJC10隔爆兼本质安全型车载式传感器深反应离子刻蚀等干法刻蚀方法刻蚀去除掉背面刻蚀窗口所露出的基片的硅衬底，刻蚀停止于埋层氧化硅；背面刻蚀窗口与正面刻蚀窗口在硅基片背面投影的图形中心相重合，背面刻蚀窗口大于正面刻蚀窗口；。