GJ4/100电化学传感器因此工成本更低；并且硅热元件采用湿法硅刻蚀从正面和背面双向同时刻蚀硅的方法以释放，能节省约一半的刻蚀时间，约倍的刻蚀工效率；。GJ4/100电化学传感器处理器可以将浓度值数据送至浓度显示单元进行显示。以事实显示当前的本地浓度值。如果浓度值大于预置的浓度报警阈值，则处理器向浓度发出报警启动信号，使得浓度发出声光报警信号。。

传感器产品介绍

传感器满足了我国煤矿监测井下浓度的需要。它可以连续自动地将井下浓度转换成标准电信号输送给配接设备，并具有就地显示沼气浓度值，超限声光报警等功能。传感器经国家防爆检验机关进行联机检验后, 可与国内各类型监测系统及断电仪、风电瓦斯闭锁装置配套，适宜在煤矿采掘工作面、机电硐室，回风巷道等地点固定使用。在型硅衬底的正面与背面分别制备刻蚀保护层并图形化，露出第八步制备好的背面湿法刻蚀窗口第七步所形成的正面湿法刻蚀窗口以及连接所有硅热元件固定端金属的总金属连接端；

传感器主要特点

1．采用单片微机和高集成数字化电路，使电路结构简单，性能可靠，便于维修与调试。

2．实现了红外遥控调校零点、标校点、报警点等功能,使调校方便简单。尤其是金属层是相连接的；电引出端远离固定端和键合固定端，其间距离应使单片气体检测器装焊在单片高温热单元上之后，电引出端与电不被单片气体检测器遮挡，在电引出端和电上可以向外进行引线键合；在键合固定端支撑端的金属层上设有高度相同的金属凸块；

3．增了传感器断电控制功能,并可任意设定断电点,实现了一机多用。

4．采用新型关电源,降低了整机功耗,增了仪器传输距离。

5．增了故障自检功能,便于使用与维护。

6．设计了新的高强度外壳结构,增强了仪器抗冲击能力。

传感器适用条件

1、适用条件

环境温度：0℃～40℃

相对湿度：≤98%RH

大气压力：80kPa～116kPa

风速：0m/s～8m/s

适用于含有瓦斯或煤尘危险的煤矿井下。在基于硅热器的传感器的硅热元件的两个固定端上施电压或电流，使硅热元件的工作点位于的电流-电阻特性曲线中的转折点左侧的工作点区域，使硅热元件的硅热器发热，其特征在于热温度在摄氏度以上；转折点为电阻随电流或电压增大而出现的电阻大点，当电流或电压继续增大时，电阻不再继续增大反而减小

传感器性能指标

测量范围：0.00%CH4～4.00%CH4

基本误差 % CH4

0～1.00% ±0.10

1.00～3.00 真值的±10％

3.00～4.00 ±0.30

分辨率： 0.01%CH4

显示方式：4位LED 显示，并能表示显示值的正或负。

响应时间：传感器的响应时间（T90）应≤20s

报警点：可调，传感器出厂时设定在1.00%CH4，报警误差：±0.05%CH4。

报警方式：声、光，其中：

a) 声级强度：≥80dB(A)；

b) 光可见度：20m处清晰可见。

工作方式：扩散式

断电功能：

a) 断电点：可调，传感器出厂时设定在1.50%CH4

b) 复电点：可调，传感器出厂时设定在1.00%CH4

防爆型式：矿用本质安全兼隔爆型

防爆标志：Exdib I Mb

输出信号：

a) 频 率：200~1000Hz；5~15Hz；5~155Hz；（电流脉冲输出或光电隔离输出）

b) 断电输出：5VDC/20mA的直流信号，或光电隔离输出。

外形尺寸：270 × 155 × 55mm

重量：≤1.3kg；

外壳材质：不锈钢。

GJ4/100电化学传感器在型硅衬底的正面制备光刻胶，光刻后形成硅热元件硅热元件的固定端周围设置的隔离沟槽及正面刻蚀窗口的图形。并采用干法刻蚀露出的氧化硅层及其下面的硅，刻蚀深度大于型硅与第二步生成的氧化硅层厚度之和，去除光刻胶；第四步，在型硅衬底的正面光刻第二步生成的氧化硅层，形成金属接触孔；。GJ4/100电化学传感器一种基于硅热器的传感器的应用方法：使用两个基于硅热器的传感器，其中一个基于硅热器的传感器的硅热元件与环境空气接触，另一个基于硅热器的传感器的硅热元件为气密性封装封装内的密封空气与环境空气隔绝，这两个基于硅热器的传感器的硅热元件构成惠斯通电桥检测桥臂。