GJ4/100低浓传感器在基片的正面上制备刻蚀保护层，采用光刻胶或磷硅玻璃作为刻蚀保护层，刻蚀保护层覆盖整个硅片的正面；在基片背面光刻形成背面刻蚀窗口图形后，采用湿法刻蚀或，感应耦合等离子体刻蚀或。。GJ4/100低浓传感器这是因为单晶硅不存在铂钨等金属热材料在摄氏度以上的高温容易挥发升华迁移等缺点也不存在多晶硅电阻在高温下晶界电阻易于变化无法掌控的缺点。。

传感器产品介绍

传感器满足了我国煤矿监测井下浓度的需要。它可以连续自动地将井下浓度转换成标准电信号输送给配接设备，并具有就地显示沼气浓度值，超限声光报警等功能。传感器经国家防爆检验机关进行联机检验后, 可与国内各类型监测系统及断电仪、风电瓦斯闭锁装置配套，适宜在煤矿采掘工作面、机电硐室，回风巷道等地点固定使用。钝化保护层为氧化硅，或氧化铪，或氧化硅氧化铝复合层，或氧化铪氧化铝复合层，或氧化铪氮化硅复合层，或氧化铝氮化硅复合层，或氧化硅氮化硅复合层，或氧化硅氧化铪氧化铝氮化硅几种材料组合形成的复合层；其中氧化硅的厚度至少，氧化铪的厚度至少为，氧化铝厚度至少，氮化硅厚度至少，整个钝化保护层的厚度不超过。

传感器主要特点

1．采用单片微机和高集成数字化电路，使电路结构简单，性能可靠，便于维修与调试。

2．实现了红外遥控调校零点、标校点、报警点等功能,使调校方便简单。红外传感器校准系统的研究在我国处于起步阶段，其校准系统采用单台校准方法，现在不能满足大批量工生产的需求。不同的红外传感器件，其校准条件及校准方法皆有差别，并没有统一规定，这一类的设备是为了满足特定的条件而设计建造的，所以国内外市场没有通用的校准设备。

3．增了传感器断电控制功能,并可任意设定断电点,实现了一机多用。

4．采用新型关电源,降低了整机功耗,增了仪器传输距离。

5．增了故障自检功能,便于使用与维护。

6．设计了新的高强度外壳结构,增强了仪器抗冲击能力。

传感器适用条件

1、适用条件

环境温度：0℃～40℃

相对湿度：≤98%RH

大气压力：80kPa～116kPa

风速：0m/s～8m/s

适用于含有瓦斯或煤尘危险的煤矿井下。钝化保护层为氧化硅，或氧化铪，或氧化硅氧化铝复合层，或氧化铪氧化铝复合层，或氧化铪氮化硅复合层，或氧化铝氮化硅复合层，或氧化硅氮化硅复合层，或氧化硅氧化铪氧化铝氮化硅几种材料组合形成的复合层；其中氧化硅的厚度至少，氧化铪的厚度至少为，氧化铝厚度至少，氮化硅厚度至少，整个钝化保护层的厚度不超过；

传感器性能指标

测量范围：0.00%CH4～4.00%CH4

基本误差 % CH4

0～1.00% ±0.10

1.00～3.00 真值的±10％

3.00～4.00 ±0.30

分辨率： 0.01%CH4

显示方式：4位LED 显示，并能表示显示值的正或负。

响应时间：传感器的响应时间（T90）应≤20s

报警点：可调，传感器出厂时设定在1.00%CH4，报警误差：±0.05%CH4。

报警方式：声、光，其中：

a) 声级强度：≥80dB(A)；

b) 光可见度：20m处清晰可见。

工作方式：扩散式

断电功能：

a) 断电点：可调，传感器出厂时设定在1.50%CH4

b) 复电点：可调，传感器出厂时设定在1.00%CH4

防爆型式：矿用本质安全兼隔爆型

防爆标志：Exdib I Mb

输出信号：

a) 频 率：200~1000Hz；5~15Hz；5~155Hz；（电流脉冲输出或光电隔离输出）

b) 断电输出：5VDC/20mA的直流信号，或光电隔离输出。

外形尺寸：270 × 155 × 55mm

重量：≤1.3kg；

外壳材质：不锈钢。

GJ4/100低浓传感器当没有气体时，单片气体检测器的测温元件受热元件的热高温影响温度升高，电阻增大；而当气体出现时及浓度增时，热元件的温度降低，测温元件受其影响温度也降低，导致自身电阻的降低，于是通过电学检测的方法可以检测的出现及浓度变化；。GJ4/100低浓传感器也就不需要氧气的参与，因此传感器对的检测不受空气中氧气的影响；传感器的热元件的热器悬在空气中且远离硅衬底，距离大于以上，以较低的功率即可将硅热器热到℃以上的高温，相应的功耗为左右；。