厂家二手日本光驰镀膜机OTFC-1300真空镀膜机
含冷水机,变压器130KVA,一套镀膜伞架,日本电子双枪180度,24穴+环形坩埚,美国POILCOLD1102,17寸RF射频源,2401机械泵,光控+6点晶控(XYC--3)
技术以及设备配置
1)机体构造:立体式
2)材料选配:机体全面用SUS304优质不锈钢而成
3)镀膜靶材:平面靶材、中心圆柱靶材、孪生靶材
4)泵系列:分子泵、维持泵、机械泵、罗茨泵、扩散泵
5)转动系统:6轴、8轴、9轴公自转/变频无级调速统、可以根据客户的产品要求设计工艺
6)膜层结构:多功能金属膜、复合膜、透明导电膜、增返射膜、电磁屏蔽膜、装饰膜等
7)技术操作方式:手动、半自动、全自动
8)控制系统:PLC控制系统、人机界面全彩触摸屏
9)电源系统:直流磁控电源、中频磁控 电源电源、高压离子轰击电源
10)保护系统:紧急情况知道报警、知道保护
四:设备技术参数
气压:0.4mpa-0.8mpa
极限真空:5.0x10 ̄4pa
水温度:≦25℃
抽气率:空气大气抽致5x10-3PA小于15分钟
水压:≧0.2MPa-3m3/h
