HN5509ASf6气体回收充气装置 Sf6气体净化装置 Sf6回收装置 半导体生产流程由晶圆制造,晶圆测试,芯片封装和封装后测试组成,晶圆制造和芯片封装讨论较多,而测试环节的相关知识经常被边缘化,下面集中介绍集成电路芯片测试的相关内容,主要集中在WAT,CP和FT三个环节。集成电路设计、制造、封装流程示意图WAT(WaferAcceptanceTest)测试,也叫PCM(ProcessControlMonitoring),对Wafer划片槽(ScribeLine)测试键(TestKey)的测试,通过电性参数来监控各步工艺是否正常和稳定,CMOS的电容,电阻,Contact,metalLine等,一般在wafer完成制程前,是Wafer从Fab厂出货到封测厂的依据,测试方法是用ProbeCard扎在TestKey的metalPad上,ProbeCard另一端接在WAT测试机台上,由WATRecipe自动控制测试位置和内容,测完某条TestKey后,ProbeCard会自动移到下一条TestKey,直到整片Wafer测试完成。
HN5509A型智能sf6气体充气回收装置
SF6气体回收充气装置系一体式回收装置,有抽真空系统与压缩系统、净化系统、存储系统及冷凝系统。SF6气体回收净化充气装置是用于SF6气体绝缘电器设备的制造厂,使用运行科研等部门,对电器设备进行抽真空,对电器设备充入SF6气体,并从使用或试验的电器中回收SF6气体,同时进行净化处理压缩贮存到贮罐。回收装置适用于电压等级的SF6电器及GIS组合电器等。
参照电力行业标准 DL/T 662-1999《六氟化硫气体回收装置技术条件》标准及原机电部JB/DQ2588-90《六氟化硫充气及回收装置》标准,并参考了德DILO的产品的优点,研发的这种SF6气体回收充气装置,更适合SF6高压开关行业。
装置组成
装置由回收系统、充气系统、抽真空系统、干燥系统、净化系统、贮存系统组成。
主要功能
对装置本机以及电器设备、贮罐、抽真空和真空度的测量
对电器设备中的气体进行回收
对回收和回充的SF6气体进行干燥、净化处理
对SF6电器进行充入SF6气体
对电器中SF6气体进行压缩液态贮存
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1.SF6(六氟化硫)气体回收充气装置采用冷冻液化法设计原理,降低了系统的工作压力,大大提高了回收的工作效率。
2.制冷压缩机可选配原装进口法美优乐的全封闭制冷压缩机。也可免费升级至美资企业生产的半封闭制冷压缩机艾默生-谷(性能远超任何原装进口的同制冷量全封闭压缩机)。
3.SF6压缩机为美资企业生产的半封闭压缩机(艾默生 - 谷),应用于SF6等卤素气体,具有耐氟特性,保证无泄露。
4.SF6(六氟化硫)气体回收充气装置的真空泵可选配德原产Busch100m3/h 、德资 Leybold D60C 60m3/h 、日本等的真空泵,以及产经久考验、结实耐用、性价比极高的双级15L/s真空泵。
5.SF6(六氟化硫)气体回收充气装置采用双容器系统,SF6可液化,并可灌装钢瓶,灌装量不小于50kg 。单容器的回收装置灌瓶量不小于30kg。
6.双容器系统拥有创的SF6汽化方式,利用较高温度的高压的SF6气体,制低温低压的SF6液体充灌入钢瓶,用时短,充灌量大。
7.使用柱式液位计,SF6液位指示直观准确。 液位有背光指示,清晰明了。
8.液态储存容器内置有大功率SF6汽化电加热器。使用时自动进行温度控制,使SF6充分汽化对外充气。
9.优异的进口(美)油雾过滤系统,确保油分达标。压缩机润滑油确保一年内不需添加,油位确保不下降。
10.分子筛干燥系统性能可靠。分子筛再生时不需解体、拆装及更换,使用方便,仅需对分子筛干燥器进行自再生操作,干燥性能即可恢复如初。
11.SF6(六氟化硫)气体回收充气装置所有球阀采用美swagelok工作原理,密封元件具有自动补偿性能。切实应用于真空、压力工况,确保真空压力两不漏,为真空、压力两用的球阀。(也可选用美swagelok原装球阀)。
12.SF6(六氟化硫)气体回收充气装置可定制的相序保护装置,耐压高达500V, 提高可靠性。
13.SF6(六氟化硫)气体回收充气装置采用三相制电源,中线不是必须的,整机配置漏电保护器。
14.流程图绘于面板,操作方便直观,使用球阀,开与关状态明确。
15.采用风冷、式,可在无水源情况下使用。
16.真空计为数字显示皮拉尼真空计。1.SF6(六氟化硫)气体回收充气装置采用冷冻液化法设计原理,降
17.SF6(六氟化硫)气体回收充气装置采用脚,便于,不伤害地面。
![](//img12.makepolo.cn/images/formals/img/product/685/387/4_d1b55f4334721848694e59fc042ce5a7.jpg)
采用冷冻液化法设计原理,降低了系统的工作压力,大大提高了回收的工作效率。
制冷压缩机可选配原装法进口的全封闭制冷压缩机。也可免费升级至美资企业生产的半封闭制冷压缩机艾默生-谷(性能远超任何原装进口的同制冷量全封闭压缩机)。
SF6压缩机为美资企业生产的半封闭压缩机(艾默生 - 谷),应用于SF6等卤素气体,具有耐氟特性,保证无泄露。
真空泵可选配日本Ulvac双级旋片式真空泵或选配德原产Busch、德资 Leybold 等。
双容器系统,SF6可液化,并可灌装钢瓶,灌装量不小于50kg 。单容器的回收装置灌瓶量不小于30kg。
双容器系统拥有创的SF6汽化方式,利用较高温度的高压的SF6气体,制低温低压的SF6液体充灌入钢瓶,用时短,充灌量大。
可使用柱式液位计,SF6液位指示直观准确。 液位有背光指示,清晰明了。
液态储存容器内置有大功率SF6汽化电加热器。使用时自动进行温度控制,使SF6充分汽化对外充气。
IOS系统机型大于5S的苹果,需要在AppStore里搜索“FLIRONE”,然后安装。该软件同样适用于iPaAppleWatch。安装后的界面,如下图:另外,两个系统的使用无异,只是方式有所区别。注意:无论是Android系统和IOS系统下的“FLIRONE”软件,也适用于FLIRONE热像仪。后,一起看下其他小伙伴“FLIRONE”后使用热像仪的效果图。“FLIRONE”让你的具备大的热成像功能,MSX技术将图像细节与热图像融合一体。