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派瑞林气相沉积设备 派瑞林真空镀膜机8001
1台起批
400000
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产品属性
图文详情
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品牌
玛奇纳米科技
型号
MQP-8001
原理类型
真空化学气相沉积镀膜机
应用领域
能源电池
极限真空度类型
中真空0.1~100Pa
极限真空度
0.5Pa
镀膜室尺寸
ø750*900mm
工作真空度
1.5Pa
抽气时间
5min
可镀基材
集成电路,硅橡胶,磁性材料
真空获得系统
真空机抽取
工件运动方式
全自动
系统控制
全自动
冷却方式
冷冻机
整机总功率
10kW
适用领域
派瑞林真空镀膜
加工定制
非加工定制
外观尺寸
3000*1800*1500mm
沉积膜厚度
0.1-50µm
涂层厚度均匀度
优于5%
电压
三相 380V 50Hz
成膜率
C型≥5µm/h N型≥0.8µm/h
适用材料
Parylene N/C/D/F
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