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派瑞林镀膜机 实验涂敷机真空气相沉积设备 玛奇纳米科技
不限
20000
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产品属性
图文详情
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品牌
玛奇纳米科技
型号
MQP-2001
原理类型
真空化学气相沉积镀膜机
应用领域
能源电池
极限真空度类型
中真空0.1~100Pa
极限真空度
0.8PaPa
镀膜室尺寸
600*850mmmm
工作真空度
1.5PaPa
抽气时间
15minmin
可镀基材
集成电路,硅橡胶,磁性材料
真空获得系统
真空机抽取
工件运动方式
全自动
系统控制
全自动
冷却方式
冷冻机
整机总功率
3kWkW
适用领域
派瑞林真空镀膜
加工定制
加工定制
沉积膜厚度
0.001-100微米
性能
防水防潮等
涂层厚度均匀度
优于2%
成膜率
C型≥5µm/h N型≥0.8µm/h
适用原料
Parylene C/N/D/F
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