美国Ferrotec Temescal 公司电子束蒸发镀膜系统FC/BJD-2000详细介绍

BJD-2000和FC-2000系统是通用型蒸发镀膜设备，通过选用不同的附件配置，适合大部分应用要求。除了高效运行和兼容洁净室的特点，这些系统还具有更大的灵活性，以方便使用。其中FC-2000是一款具有快速工艺周期能力以及真空锁结构的系统，可以在装卸基片时让电子束蒸发源保持在高真空状态。而BJD-2000则没有真空锁结构。
 

虽然是Temescal产品家族系列中***小型的设备，但同样具有Temescal一贯的设计思想，也拥有与大型生产设备一样的高稳定性、高可靠性以及易维护性的特点。为了满足用户对未来产能提升的要求，BJD-2000和FC-2000还可以在现场升级成更高产能的2800系列系统。