Lab Companion 无尘高温箱系列Z高工作温度300°C。
客户的标准样品进入处理流程,均在符合 ISO14644-1 class5* 标准的环境中运行。所有污染微粒的来源完全密封。不锈钢内壁易清洗,光泽的白色环氧树脂涂层外墙能防止微粒脱落的污染。
*Federal 209E Class100 标准在2001年已由ISO14644-1 class 5标准取代。
一.用途:
Lab Companion 无尘高温箱系列用于半导体制造中硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃等材料涂胶前的预处理烘烤、涂胶后坚膜烘烤和显影后的高温烘烤;也适用于电子液晶显示、LCD、CMOS、IS、实验室等生产及科研部门;也可用于非挥发性及非易燃易爆物品的干燥、热处理、老化等其他高温试验。
二.特点:
1.在普通环境下使用,能够确保烘箱内部等级达到Class 100
2.全周氩焊,耐高温硅胶破紧,SUS304#不锈钢电热生产器,防机台本身所产生微尘;
3.采平面水平由后向前送风后经美国进口H.E.P.A Filter 20"×20"装置往前门(特殊风道设计)方向送风,过滤效率99.99%,Class 100,排气口:3"φ(附自动启闭风门)
4.强制送风循环方式。双风道循环结构,温度场分布均匀,智能P.I.D温控系统,得到*佳温度控制精度。
三.产品技术参数:
1.主要技术指标:
无尘等级:Class 100;
温度范围: RT+20~ +200℃/+300℃;
温度均匀度:200℃±4℃;
温度波动度:±0.5℃(空载)
温控精度:±0.1℃;
工作尺寸:216L ,324L,768L,无尘等级和尺寸可根据要求定制。
电源:380v , 50Hz,
网板:2块(高度可调节)