全氟化橡胶密封件
全氟化橡胶拥有特氟L(PTFE)的优异耐化学性,同时具有橡胶的弹性,好的耐热性和洁净度,长奉命。
在现代工业中,人们越来越多的关注化学品的轻微泄漏和挥发性排放,Z大程度降低该类污染,全氟化橡胶优异的性能,可以大幅度的减少因密封失效而引起的化学品泄漏
全氟化橡胶密封件特点:
在强腐蚀性的化学环境中老化速度缓慢
在高温条件下保持密封能力
材料成份纯净,很少溶解或排放到介质中
真空密封时释气率很低
洁净度符合苛刻的FDA规范
全氟化橡胶密封件产品特点:
优异的耐热性
全氟化橡胶是一种合成材料,其构造酷似特富L(PTFE),因而实现了耐高温工艺使用的耐热标准300度以上
低粒子、低渗气性
在半导体FPD制造工序中影响成品率的是粒子放出,通过特殊填料配合,减轻来自等离子的损坏。同样影响成品率恶化主要原因的是从真空放CHU气体,该产品具有释气率低特点
各种耐性(耐溶剂性,耐化学Y品性,低金属含量)
以优异的耐溶剂性,低金属含量为主,对于需耐各种Y品的特殊氟橡胶制品,可提供广泛的材料方案
丰富的系列
通过积累的制造技术和自有的配合技术,可从丰富的系列中结合使用用途给出合适材料方案。也可从既有系列中选择,实现成本优势
全氟化橡胶密封件应用领域:
化工机械密封,阀门密封,分析仪器控制仪表密封
医Y食品灌装机
半导体
航天航空液压执行器
涂装设备
新能源汽车
各行业密封材料系列--全氟化橡胶:
半导体 高纯度材料系列
化学工业 高稳定性及耐低温材料系列
机械设备 长效系列
石油天RAN气工业 耐腐蚀抗爆性能系列
汽车喷涂 耐溶济系列
医L食品 低污染系列
涂装设备 抗溶剂系列
航空航天工业 抗强氧化系列
全氟化橡胶密封件各种材料特点,应用领域
PM材料
颜色:棕色 硬度(shore A):76 使用温度320℃
不含金属系填冲材、高纯度 ,优异耐热性,耐等离子性
用途:半导体,FPD制造工序的成膜装置/灰化装置等
半导体 蚀刻/灰化 干制程 处理室内部部件 优异耐热性 高纯度
半导体 成膜(绝缘膜) 处理室密封 优异耐热性 高纯度
FM材料
颜色:白色 硬度(shore A):74 使用温度220℃
优异耐等离子性,无碳、优异的机械属性
用途:半导体,FPD制作工序的蚀该装置
半导体 蚀刻/灰化 干制程 等离子蚀该装置 优异的耐等离子特性,耐机械特性
231B材料
颜色:黑色 硬度(shore A):75 使用温度320℃
高温领域密封性能,寿命长,耐药性也优异(胺,蒸汽环境下要注意)
用途:所有需要有耐热性要求的部位
半导体 氧化/扩散 氧化扩散炉 优异耐热性 Max320度
半导体 电J/配线 溅镀装置 优异耐热性 Max 320度
251B材料
颜色:黑色 硬度(shore A):75 使用温度300℃
优异的耐热性 耐药性(耐温300度)
用途:所有需要有耐热,耐药品要求的部位
半导体 蚀刻/灰化 干制程 舱盖密封 优异耐热性 和耐机械特性
半导体 氧化/扩散 曝G装置 优异耐热性 机械特性
半导体 电J/配线 金属CVD装置 优异耐热性 机械特性
252W材料
颜色:白色 硬度(shore A):75 使用温度300℃
具有耐热性 无碳(耐温300度)
用途:半导体,FPD制造工序的蚀该装置等
半导体 蚀刻/灰化 干制程 入口阀 优异耐热性 耐等离子特性
PB-70材料
颜色:黑色 硬度(shore A):75
具有广泛的耐药品性、优异的耐低温性
用途:所有要求耐药品性的部位
半导体 印刷 光刻涂布-显像 药液生产线的密封 涂布机和试验 优良耐药品性,析出物少
半导体 蚀刻/灰化 湿制程 药液生产线的密封蚀该装置 优良耐药品性,析出物少
PW-70材料
颜色:白色 硬度(shore A):70
优异耐等离子性,无碳材料
用途:半导体,FPD制造工序的蚀该装置等
半导体 蚀刻/灰化 干制程 等离子灰化装置 优异的耐等离子特性