需要超纯水的工业行业主要包括电子、电力、石油化工等。在电子行业中，半导体、集成电路芯片及封装、液晶显示、高精度线路板、光电器件、微电子行业、大规模及超大规模集成电路需要用大量的超纯水清洗成品和半成品。在电力生产中，发电系统的发电循环效率取决于系统中水蒸气的温度和压力，且纳、氯化物或二氧化硅等污染物易引起涡轮机叶片的腐蚀和污染。在石油化工行业中，高纯水主要应用于油田注入水、化工反应冷却水、化学药剂、化肥及精细加工、化妆品制造、电镀行业清洗水、电池行业溶剂用水。