纯水设备采用反渗透技术，其工作原理是对水施加一定的压力，使水分子和离子态的矿物质元素通过反渗透膜。溶解在水中的绝大部分无机盐（包括重金属）、有机物以及细菌、病毒等无法透过反渗透膜，从而使渗透过的纯净水和无法渗透过的浓缩水严格的分开。

超纯水设备是在反渗透技术的基础上，添加了离子交换和终端处理技术，有些还有深度离子除盐、超滤和UV光氧化作用设备。尽可能che底地去处tian然水中常见的可溶性无机物、有机物、颗粒物、微生物、可溶性气体等杂质。