中太镇FAB042(一级)P2精度机械手伺服齿轮减速机
EAMON/伊明牌PVLN系列直齒行星減速機
產品特點:
1、帶有錐齒換向機構,可實現直角輸出。
2、設計簡潔,性能可靠,性價比。
3、錐齒副滲碳處理,硬度達HRC58,耐磨性優。
規格範圍:
60-120
速比範圍:3-100
精度範圍:8-16弧分
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中太镇FAB042(一级)P2精度机械手伺服齿轮减速机
行星减速机在晶圆切割机设备的应用
一、晶圆切割机与行星减速机
晶圆切割机是半导体制造过程中用于切割晶圆的设备,具有高精度、高速度和高稳定性等要求。行星减速机作为一种精密的传动装置,在晶圆切割机的驱动系统中发挥着重要的作用。
二、行星减速机在晶圆切割机中的应用
驱动切割头
行星减速机作为驱动元件,可以为晶圆切割机的切割头提供平稳、的运动轨迹,确保其工作的高精度和稳定性。同时,行星减速机的输出转速可以根据需要进行调整,以满足不同速度的要求。
降低转速和增大扭矩
晶圆切割机的切割头通常需要低速、大扭矩的驱动方式。行星减速机具有降低转速、增大扭矩的功能,可以将电机的较高转速转化为较低的输出转速,以满足切割头对扭矩的需求。这样不仅可以提高设备的传动效率,还可以降低设备的噪音和振动。
提高精度
行星减速机的传动精度较高,能够减小晶圆切割机运动过程中的误差,提高其精度。同时,行星减速机的稳定性和高刚度也有助于减小外界干扰对晶圆切割机的影响,从而保证其工作的可靠性。
降噪减振
行星减速机设计紧凑,振动小,采用优质材料和精密制造工艺,能够在高负载条件下稳定运行,有效降低机械噪音和振动,提高晶圆切割机的稳定性。同时,行星减速机的低噪音设计也有助于提高晶圆切割机的舒适度。
三、行星减速机在晶圆切割机中的优势
高精度:行星减速机采用行星齿轮结构,具有高传动精度和高扭矩传动比等优点,能够为晶圆切割机提供更、稳定的能量输出。
高可靠性:行星减速机采用优质材料和先进的设计理念,具有长寿命、低磨损的特点,可保证晶圆切割机长期稳定的工作。同时,行星减速机的低噪音和低振动设计也有助于提高设备的可靠性和稳定性。
维护简便:行星减速机结构简单,拆装方便,易于维护保养,可降低设备故障率,提高设备的可靠性。此外,行星减速机的模块化设计也使得设备易于维修和更换,降低了维修成本。
多种规格:行星减速机可根据晶圆切割机的不同需求,提供多种规格和减速比,以满足各种运动轨迹和速度要求。这样使得设备具有较强的适应性。
兼容性强:行星减速机可与各种类型的电机和控制系统兼容,使得晶圆切割机的用途更加广泛。
良好的防震性能:行星减速机具有良好的防震性能,能够有效减少外部震动对晶圆切割机的影响,提高操作的稳定性和准确性。
长寿命:行星减速机采用高强度材料和先进的加工工艺,能够承受恶劣的工作环境和长期高强度使用,具有较长的使用寿命。这样使得设备具有较低的更换频率和较高的使用价值。
节能环保:行星减速机具有节能、低噪音、低污染等优点,符合现代工业节能减排的发展趋势
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中太镇FAB042(一级)P2精度机械手伺服齿轮减速机
PS140L1-3-4-5-6-7-8-10-35-114.3
PS140L2-15-16-20-25-28-30-35-114.3
PS140L2-35-40-50-60-70-80-100-35-114.3
PS180L1-3-4-5-6-7-8-10-35-114.3
PS180L2-15-16-20-25-28-30-35-114.3
PS180L2-40-50-60-70-80-100-35-114.3
PS180L1-3-4-5-6-7-8-10-38-180
PS180L2-15-16-20-25-28-30-35-38-180
PS180L2-35-40-50-60-70-80-100-38-180
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在潮湿地区或在金属构架、压力容器、管道等导电良好的场所作业时,必须使用双重绝缘或加强绝缘的电动工具。非金属壳体的电动机、电器,在存放和使用时不应受压、受潮,并不得接触汽油等溶剂。作业前的检查应符合下列要求:a.外壳、手柄不出现裂缝、破损;电缆软线及插头等完好无损,开关动作正常,保护接零连接正确牢固可靠;各部防护罩齐全牢固,电气保护装置可靠。机具起动后,应空载运转,应检查并确认机具联动灵活无阻。
中太镇FAB042(一级)P2精度机械手伺服齿轮减速机