小型磁控溅射仪 金银铜铬镍镁铝靶材溅射仪
郑州科探仪器设备有限公司
中国 郑州
产品属性
图文详情
品牌推荐
品牌
郑科探
型号
KT-1650PVD
原理类型
真空溅射镀膜机
应用领域
光学薄膜
极限真空度类型
高真空0.00001~0.1Pa
极限真空度
1E-4Pa
镀膜室尺寸
50mm
工作真空度
1E-3Pa
升压率
无Pa/h
抽气时间
5min
基材尺寸
50mm
可镀基材
金属
真空室材质
玻璃
真空获得系统
机械泵分子泵
系统控制
自动
最高加热温度
80左右℃
热区加热均匀度
80±℃
冷却方式
水冷
适用领域
半导体
加工定制
非加工定制
重量
25kg
溅射电源
射频电源
