小型离子溅射仪 型号:SD-900库号：M377516


300mm×360mm×380mm（W×D×H）


 靶（上部电极）：50mm×0.1mm（D×H）


 靶材：Au（标配）


 样品室：硼硅酸盐玻璃 160mm×120mm（D×H）


 靶材尺寸：Ф 50mm


 真空指示表： 高真空度：≤ 4X10-2 mbar


 离子电流表： 大电流：50mA


 定时器： 长时间：0-360S


 微型真空气阀：可连接φ 3mm 软管


 可通入气体： 多种


 高电压： -1600 DCV


 机械泵：标准配置 2L/S（国产 VRD-8）