四探针测试仪（手动带软件） 型号:RTS-8库号：M406398
测量范围


电阻率：10-5～105 Ω.cm(可扩展)；


方块电阻：10-4～106 Ω/□(可扩展)；


电导率：10-5～105 s/cm；


电阻：10-5～105 Ω；


可测晶片直径


140mmX150mm(配S-2A型测试台)；


200mmX200mm(配S-2B型测试台)；


400mmX500mm(配S-2C型测试台)；


恒流源


电流量程分为1μA、10μA、100μA、1mA、10mA、100mA六档，各档电流连续可调


数字电压表


量程及表示形式：000.00～199.99mV；　　　　


分辨力：10μV；


输入阻抗：>1000MΩ；


精度：±0.1% ；


显示：四位半红色发光管数字显示；极性、量程自动显示；


四探针探头基本指标


间距：1±0.01mm；


针间绝缘电阻：≥1000MΩ；


机械游移率：≤0.3%；


探针：碳化钨或高速钢Ф0.5mm；


探针压力：5～16 牛顿(总力)；


四探针探头应用参数


(见探头附带的合格证)


模拟电阻测量相对误差


( 按JJG508-87进行)


0.01Ω、0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω、1000Ω、10000Ω≤0.3%±1字


整机测量相对误差


(用硅标样片：0.01-180Ω.cm测试)≤±5%


整机测量标准不确定度


≤5%