类别:五金、工具 > 磨具>磨片、切制片
名称:磨轮 型号:GF01 - SD 360 - VS - 100
产品特点:能够高效率地向加工部位供给研削水。从而获得稳定的研削性及磨轮使用寿命。
· 通过采用新开发的金属磨轮圈,能够高效率地向加工部位供给研削水
· 可使用与IF系列产品相同的结合剂
· 具有优越的加工精度和稳定的研削力
· 采用Φ200由PP(聚丙烯制成)制成,Φ300由ABS树脂制成,具有优良回收性,低粉尘产生的树脂包装,并且也可用于无尘室。
通过各种结合剂与不同颗粒大小的组合, 实现了晶圆背面膜层及超薄研削加工的稳定性。
粗研削加工用
加工时不易受到工作物表面的氧化层及氮化层的影响,可实现稳定的研削加工。
· VS : 标准型
· BT300 : 兼顾加工质量和使用寿命型
· BT100 : 超薄研磨适型
精研削加工用
通过采用树脂结合剂,大幅度降低对晶圆的损伤,使研削加工更趋于稳定。另外,还改善了晶圆厚度精度(TTV)及表面粗糙度,并且在兼顾使用寿命的同时,还提高了研削加工质量。
综上所述,DISCO划片机磨轮的作用是对硅片进行磨削、抛光、清洗和稳定支撑,以得到高质量的划片效果
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