真空清洗炉是利用化纤高分子聚合物在300C左右可熔融,高于300°C隔绝空气可裂解焦化，并产生多种裂解物，高于400°C在有少量空气并有一定真空度的环境中可完全氧化的特性达到清洗工件的目的。利用这一特性，先把工件加热到300°C，使工件表面上数量较多的高分子聚合物融化流入下部的废料收集罐中，工件表面微孔中只剩少量的高分子聚合物和灰分，这时再将炉温升到400°C~450°C左右，(温度可根据 工艺要求确定)，同时，打开真空泵，并通入少量空气，使剩余的高分子聚合物充分氧化;生成二氧化碳和水蒸汽，通过真空泵，将漂浮在炉内的灰分和水蒸汽经水喷淋洗涤器喷淋洗涤后抽出炉外，由水带走，整个工作过程没有污染气体和烟雾灰分排在室内，即使排出室外的也只是少量的二氧化碳，水中带走的灰分也很少.。

真空炉包括真空清洗炉体、炉盖及所带的废料收集系统、真空系统、密封系统、由微机控制工作的电加热系统、水冷却系统和清洗物装卸系统。

真空清洗炉按照结构可以分为：轨道式真空清洗炉、井式空清洗炉、立式空清洗炉、卧式空清洗炉、大容量真空清洗炉等。