ULVAC爱发科 真空搬送机械手 ELEC-RZ 半导体设备自动晶片
COVOT-LC没有Z軸、是简单又合理的真空搬送机械手。
特点
根据行经,转弯半径,手臂数量,有多种可选。
支持10-6Pa的高真空。
用途
半导体设备的自动晶片搬送
各种真空实验设备的基板搬送
规格
| COVOT-LC | ELEC-RZ | COVOT-6-X5 |
| 使用压力范围 | to 10-5Pa | to 10-6Pa | to 10-1Pa |
| 晶片尺寸 | 200mm/300mm | 200mm/300mm | 300mm |
| 晶片把持片数 | 1 or 2 | 1 or 2 | 4 |
| 最大到达距离*1 | 880mm | 1050mm | 880mm |
| 旋转角度 | -15° to 375° | ±210° | 360° Endless |
| 升降行程 | - | 50mm | 90mm |
| 最小旋转直径 *1 | 802mm | 944mm | 980mm |
| 可搬重量(含机械手) | 1kg | 1kg | 1kg |
| 动作速度 | R | Max 2.5sec / 全行程 | Max 2.5sec / 全行程 | Max 1.5sec / full stroke |
| Θ | Max 2.5sec / 180° | Max 3.0sec / 180° | Max 2.0sec / 180° |
| Z | - | Max 1.5sec / 20mm | Max 1.5sec / 20mm |
| 重复位置精度 | R | ±0.2mm | ±0.1mm | ±0.2mm |
| Θ | ±0.2mm | ±0.2mm | ±0.2mm |
| Z | - | ±0.2mm | ±0.2mm |
| 示教器 | 选购配件 | 附属 | 附属 |
| 控制器 | 内置 | 外置 | 外置 |

