ULVAC爱发科 EB电源 内置强制空冷系统 HPS-1600F -S100
特点
不需要冷却水
强制空冷系统，不需要冷却水
可靠性高
作为设备制造商经验积累的成果
简易的操作性
操作面板使用液晶触摸屏，操作性得到提升。
扫描波形变化
可以在操作屏幕上创建各种光束扫描形式
高速电弧中断功能
通过高速电弧中断最大限度地减少成膜率
低水平电弧控制功能（光学应用可选）
控制光学应用中所产生的微小电弧以实现稳定的成膜
| COVOT-LC | ELEC-RZ | COVOT-6-X5 |
| 使用压力范围 | to 10-5Pa | to 10-6Pa | to 10-1Pa |
| 晶片尺寸 | 200mm/300mm | 200mm/300mm | 300mm |
| 晶片把持片数 | 1 or 2 | 1 or 2 | 4 |
| 最大到达距离*1 | 880mm | 1050mm | 880mm |
| 旋转角度 | -15° to 375° | ±210° | 360° Endless |
| 升降行程 | - | 50mm | 90mm |
| 最小旋转直径 *1 | 802mm | 944mm | 980mm |
| 可搬重量（含机械手) | 1kg | 1kg | 1kg |
| 动作速度 | R | Max 2.5sec / 全行程 | Max 2.5sec / 全行程 | Max 1.5sec / full stroke |
| Θ | Max 2.5sec / 180° | Max 3.0sec / 180° | Max 2.0sec / 180° |
| Z | - | Max 1.5sec / 20mm | Max 1.5sec / 20mm |
| 重复位置精度 | R | ±0.2mm | ±0.1mm | ±0.2mm |
| Θ | ±0.2mm | ±0.2mm | ±0.2mm |
| Z | - | ±0.2mm | ±0.2mm |
| 示教器 | 选购配件 | 附属 | 附属 |
| 控制器 | 内置 | 外置 | 外置 |
