ULVAC爱发科 双阴极用双极元件 MFU-20K 溅射设备用现货

EGL-103S型EB枪是基于ULVAC多年的技术积蓄和实际成果，为提高性能和可靠性而开发。
拥有最大输入功率6kW的直动型3点切换式蒸发舟。
坩埚容量为10cc3个，适用于超高真空的实验、小规模生产。

特点

• 采用直接作用型的10cc三点切换坩埚，适用于超高真空的小规模生产。

• 由于电子束被电磁场偏转，二次电子对成膜体的影响非常小。

• 即使是升华材料，扫描X轴和Y轴上的束斑也可以消除点蚀现象并可以顺利蒸发。（日本专利831485号.843447号）

• 电子束270°偏转，灯丝不会从蒸发材料暴露，因此寿命很长。

• 发射器组件易于拆开，更换灯丝，绝缘体等非常容易。

规格