设备名称OTFC-1300/1550/1800CBI/DBI

销售技术杨经理：18103045976/13723521401

真空室SUS304, φ1300mm×1610mm (H)

工件架φ1130mm

工件架转速10rpm to 50rpm(可变)

光学膜厚控制HOM2-R-VIS350A光学膜厚监控仪

波长范围：350nm to 1100nm

反射式/透射式

水晶式膜厚计XTC/3+6点式水晶传感器

蒸发源电子枪2套

离子源17cmRF离子源

排气系统机械泵+2个扩散泵+Polycold（或2个冷凝泵）

达到压力7.0×10-5 Pa 以下

排气时间15分（大气压～1.3×10-3 Pa)

基板温度高：350℃

工作条件

设备尺寸约5000mm(W)×6500mm(D)×3500mm(H)

电源3相,200v,50/60Hz, 约104KVA

水流量140升/分以上

空气压力0.5MPa以上

重量约8500kg