半导体防腐涂层 PFA花篮 PFA浸泡桶  PFA过滤器 半导体橡胶圈 晶圆花篮 转运支架 半导体研磨盘  半导体清洗槽 

PCTFE ECTFE HALAR PFA 

### FFKM橡胶圈防粘涂层

#### 牌号及应用

1. **Chemraz®** by Greene Tweed

   - **应用**：广泛应用于半导体设备的密封件，防止化学腐蚀和粘附。

   - **特点**：化学稳定性和防粘附性能。

2. **Kalrez®** by DuPont

   - **应用**：用于高温和化学腐蚀环境中的O型圈和密封件。

   - **特点**：耐高温、耐化学品，防止颗粒物粘附。

3. **Simriz®** by Freudenberg

   - **应用**：半导体制造设备和化学处理系统的密封件。

   - **特点**：提供极好的化学耐受性和防粘附性能。

#### 案例

1. **半导体刻蚀设备**

   - 使用FFKM O型圈涂有防粘涂层，确保密封件在高温和等离子环境下不会被化学品腐蚀或粘附颗粒，延长设备使用寿命。

2. **化学气相沉积（CVD）设备**

   - 在CVD系统中应用防粘涂层的FFKM密封圈，防止化学气体和反应物在密封件表面积聚，保持系统纯净度和效率。

通过使用防粘涂层的FFKM橡胶圈，半导体制造商可以显著提高设备的可靠性和性能，减少维护成本和停机时间。