一、概述
硅片烧结回转炉主要用于CVD实验,也运用于冶金,玻璃,热处理,锂电正负极材料,新能源,磨具等行业测定材料在一定气氛条件下的专业设备。
旋转管式炉和传统的马弗炉相比,它的优点在于炉管是转动的,物样在加工过程中,不停地翻动。因此加工质量好,效率高,并且取得的实验数据较接近于生产状态。由于可以连续出料,所以加工大量物样时,更能显示其优越性。另外旋转回转窑炉管的两端采取了密封措施,所以在使用过程中还可通入氧化,还原等必要的气氛。
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