产品性能：
高功率电源是新一代射频电源发生器，单台输出功率可达30KW。产品广泛应用于LCD、光伏等行业。典型应用包括溅射、PECVD和表面处理
产品特征：
采用先进的功率发生器，输出功率高，稳定可靠；搭配12寸工业触控屏，方便控制于显示；自主研发的高功率电源匹配器，能实现快速匹配；具备电弧抑制功能，可以有效抑制负载产生的电弧；多种报警监控机制，有效保障设备稳定运行
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