该射频电源采用3U半机箱设计，整机功率密度高。支持连续波、脉冲、多级脉冲的工作模式。可自定义配置脉冲信号，响应速度快，信号质量高。支持高速、高精度的调频功能。


应用特征
该电源主要应用对象包括：刻蚀、ICP、 PECVD。