三甲基氯硅烷（分子式：(CH3)3SiCl），也称氯化三甲基硅烷、氯代三甲基硅烷、三甲基一氯硅烷，室温下为无色液体，是卤代硅烷的一种，在有机合成中有很多用途。

CAS：75-77-4
中文别名：氯化三甲矽;三甲基氯;

分子式：C3H9ClSi
分子量：108.642

外观与性状：无色液体
密度：1.257g/mLat 25°C
沸点：57°C(lit.)
熔点：−40°C(lit.)
闪点：104°F
折射率：n20/D 1.500​​​