1..Agilent 4155B半导体测试仪安捷伦 的数字扫描参数分析仪,可靠的测试仪,
9..强有力的故障,分析工具,自动检查设施;幸免综合至同参仪器中。
1..新产品的设计目标清楚地瞄准为亚微米几何尺寸器件评估提供前所未见的精度。
6..它是一种可灵活使用的仪器,无疑对从材料评价至器件性牟的表征,
6..乃至后封装等各个阶段的部分检查和现场故障分析可提供诸多应用,
2..以改进半导体器件的质量。
9..正确方案的抉择Agilent 4155B设有四个内置源/监测单元(SMU),
2..两个电压单元(VSU),两个电压监测单元(VMU),
8..对于具有非开氏连接的基本半导体连接,4155B可谓是选择,
1.分辨为10fA/1μV测量范围为100mA/100V。任何时候,
6..均可增添41501B SMU和脉冲发生器扩展器。
它由0V/1.6A接地单元馈送可扩展接收两100mA/100V SMU或一个1A/200V SMU,
和两上同步40V/1μs脉冲发生器。设定和测量Agilent 4155B可使用许多测量单元,
包括Agilent 41501B做阶梯,脉冲扫描测量,采样(时域)测量,而无需变动连接。
进而,对于可靠性评估还可做应力循环测量,
例如热载流子的注入和快速EEPROM测评。
一般特性:
用于器件表征的高精度实验室用台式参数分析仪4x 高分辨率 SMU、
2xVSU 和 2xVMU填空式前面板操作包括 Desktop EasyEXPERT 软件,
可在 PC 上通过 GUI 对仪器进行控制
测量能力:1 fA 和 0.2 mV 测量分辨率QSCV、强化测试模式、
旋钮扫描和待机功能可选的 41501B 可提供 +/- 200 V 和 +/- 1 A 大功率 SMU、脉冲发生器功能